東莞半導體分選機用電氣比例閥-誠信企業(yè)「上海費爾頓」

輸入信號增大，供氣用電磁閥先導閥1換向，而排氣用電磁先導閥7處于復位狀態(tài)，則供氣壓力從SUP口通過閥1進入先導室5，先導室壓力上升，氣壓力作用在膜片2的上方，則和膜片2相連的供氣閥芯4便開啟，排氣閥芯3關閉，產生輸出壓力。此輸出壓力通過壓力傳感器6反饋至控制回路8。在這里，與目標值進行快速比較修正，直到輸出壓力與輸入信號成一定比例為止，從而得到輸出壓力與輸入信號的變化成比例的變化。由于沒有噴嘴擋板機構，故閥對雜質不敏感，可靠性高。

①力控制型：這類電磁鐵的行程短，只有1.5 mm，輸出力與輸入電流成正比，常用在比例閥的先導控制級上。②行程控制型：由力控制型加負載彈簧共同組成，電磁鐵輸出的力通過彈簧轉換成輸出位移，輸出位移與輸入電流成正比，工作行程達3 mm，線性度好，可以用在直控式比例閥上。應用廣泛的比例電磁鐵是耐高壓直流比例電磁鐵。

比例閥是在通斷式控制元件和伺服元件的基礎上發(fā)展起來的一種新型的電一液控制元件，故稱為電液比例閥。這種閥從閥的基本結構和動作原理來講與通斷式液壓閥更接近或相同；但比例閥輸人的是電流信號而輸出的是液壓參數(壓力、流量等)，只要改變輸入電流的大小，就能實現(xiàn)連續(xù)比例地改變輸出的壓力或流量，因而其控制原理又同伺服控制閥是相同的，而與通斷式液壓閥又是不相同的。通常比例閥用在開環(huán)控制的液壓系統(tǒng)中。

比例閥的工作原理是指令信號經比例放大器放大，電流按比例輸出到比例閥的比例電磁鐵。比例電磁鐵輸出力，按比例移動閥芯的位置，可以控制流量，按比例改變液體流動的方向，從而實現(xiàn)執(zhí)行器的位置或速度控制。在一些具有高位置或速度精度的應用中，可以通過測量致動器的位移或速度來形成閉環(huán)控制系統(tǒng)。比例閥由DC比例電磁鐵和液壓閥組成。比例閥連續(xù)控制的是比例電磁鐵的使用。比例電磁鐵有很多種，但工作原理基本相同