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當轉子旋轉時,抽空腔的進氣部分容積擴張,將氣體通過吸入口吸入。氣體經過污物防護罩,打開的防返油閥(7/54)進入泵腔。當轉子進一步旋轉,葉片從吸入口將泵腔部分分開。另一方面使真空泵長周期高效率運轉,也為真空泵的進一步改進提供依據(jù)。這部分泵腔體積減少,氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓力時經過排氣閥(6/20)從泵腔中排出。
油被注入泵腔起密封,潤滑和冷卻泵的作用。
壓縮氣體夾帶的油在油箱(6/27)內由于折轉而被初步捕集。然后在出口過濾器元件(6/29)中被徹底過濾。于是,排氣中油含量下降至低于可見程度(捕集率大于99%)。
在出口過濾器中捕集的油經過回油管(6/11)返回到進氣室。為了防止大氣壓下的氣體從油槽流入進口,回油管由一個浮球閥控制。
油循環(huán)是由油箱(壓力高于或等于大氣壓)和泵的進氣口(壓力低于大氣壓)之間存在的壓差維持的。一部分油取自油槽(6/27),經過油過濾器(6/25)流到轉子的軸承支撐點和泵腔。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。注入泵內油的另一部分不會通過油過濾器。所以,如果油過濾器偶然完全堵塞,通過具有足夠油量的第二線路確保潤滑,從而保證泵良好機械運轉。
然而在這種情況下,泵達不到規(guī)定的極限壓力。一般來說這表明油臟了或油過濾器被堵塞了。
在電機軸上旋轉的風扇產生冷卻所必須的空氣流,來通過冷卻盤管中的潤滑。
根據(jù)需求,可訂購帶氣鎮(zhèn)裝置(6/14)的泵(USA型號的泵氣鎮(zhèn)閥為標準配置)。
在密封狀態(tài)下工作,即整個系統(tǒng)處于密封狀態(tài),一但真空泵工作,系統(tǒng)內的氣壓逐漸降低,從而達到真空。而真空泵泵腔內的潤滑是靠內部真空對外產生吸力,將真空泵油吸到泵腔里面,達到潤滑目的。如果對系統(tǒng)的需求隨著時間變化,其硬件可輕松進行擴展,從而提高生產力。其二,在非密封狀態(tài)下工作,即整個系統(tǒng)處于漏氣狀態(tài),真空泵工作,系統(tǒng)內的氣壓雖然降低,但不足以將真空泵油吸到泵腔里面潤滑。因此,采用強制供油潤滑前面所說的“油泵”使用過程中,對真空泵而言,以“先開后關”為原則,即在工作時先開真空泵后打開閥門開關,在結束工作前先關閉閥門開關后再關閉真空。
真空泵維修保養(yǎng)誤區(qū)
真空泵為什么有噪音,有以下幾種可能,首先排除電機是否有異音,如果電機生音正常,電機主要是軸承損壞將有異音,更換軸承及排除,缸體是否有磨損狀況,如果缸體磨損聲音肯定會變大,解決方案,那就是搪缸,搪缸對泵浦本身影響很大的,會影響泵浦真空度及抽速,所以搪缸的尺寸及精度要求非常高,還有一級轉子與二級轉子連接處有個聯(lián)軸器是否有磨損,如果磨損聲音會變大,真空泵維修處理方案,就是更換,如果更換基本就可以排除聲音過大,泵浦軸承是否有更換,這個是直接影響聲音的根本原因,所以更換及可以解決噪音大之故障,一級轉子與二級轉子連接銷釘是否有磨損狀況,如果磨損也會導致噪音變大,處理方案就是換新,泵浦間隙是否符合標準,如果間隙過大或者過小也會導致噪音變大,所以間隙必須符合泵浦使用狀況,排氣端是否有消音裝置,如果沒有也會直接導致聲音變大,處理方案就是更換及可以安裝及可排除。 真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對ya有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空。有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油、氣鎮(zhèn)性能等不達標或不能滿足要求。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
對于機械真空泵如旋片式真空泵應安裝在清潔、干凈的環(huán)境里,溫度宜在15至40度范圍之內。在真空泵的進氣口處應安裝精密過濾器,消除油蒸汽不使它污染整個系統(tǒng)。每次啟動真空泵前,應用手轉動或斷續(xù)啟動幾次,將旋片真空泵內油排出真空泵外,減少啟動時的阻力。真空泵使用油,一般3~6個月更換一次,以免增加真空泵維修保養(yǎng)起來的難度。歐瑞康萊寶羅茨泵的基本參數(shù):在250~2050米3/小時的抽速范圍內,歐瑞康萊寶的羅茨泵的電機有直聯(lián)式(WA/WAU)和封閉式(WS/WSU)兩種規(guī)格,每種規(guī)格又分為帶逸流閥、可在大氣下啟動的WAU/WSU和不帶逸流閥的WA/WS的兩種形式。真空泵抽除含有可凝性蒸汽時精密過濾器。用帶放氣電磁閱是較好的措施,可保證停泵時即對真空泵放大氣。