OPTM膜厚儀價(jià)格在線(xiàn)咨詢(xún)「在線(xiàn)咨詢(xún)」

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考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度（粗糙度）時(shí)，將表面粗糙度和空氣（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模擬為“粗糙層”，可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN（氮化硅）的情況。

膜厚儀測(cè)試時(shí)有關(guān)輻射安全注意事項(xiàng)

幅射安全方面膜厚儀由于使用X射線(xiàn)管而產(chǎn)生輻射。測(cè)量頭的設(shè)計(jì)完全符合國(guó)際X射線(xiàn)安全要求：　　·測(cè)量頭控制臺(tái)上的一個(gè)鑰匙開(kāi)關(guān)通過(guò)打開(kāi)或關(guān)閉X射線(xiàn)管上的高壓決定X幅射的產(chǎn)生與否；　　·一個(gè)多級(jí)故障自動(dòng)保險(xiǎn)互鎖系統(tǒng)可控制X幅射的產(chǎn)生，從而有效保護(hù)操作者的安全；　　·如果測(cè)量門(mén)沒(méi)有完全關(guān)閉，X幅射就不會(huì)進(jìn)入測(cè)量室；　　·足夠的遮罩用來(lái)減小外部的幅射量。

膜厚儀是一種比較精密的監(jiān)測(cè)設(shè)備，它在平時(shí)的使用中對(duì)于精準(zhǔn)度的要求很高，但是還是會(huì)有誤差的現(xiàn)象發(fā)生，除了儀器本身的一些故障以外，環(huán)境因素也是造成誤差的一大“元兇”。