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氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦質譜檢漏儀的檢漏方式有那些氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇

氦質譜檢漏儀廠家的氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應從以下幾方面考慮：

(1)無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;

(2)質量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;

(3)化學性質穩(wěn)定，不會引起化學反應和易1燃易1爆;

(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，分子直徑小，同等條件下，直線運動距離長。氦質譜檢漏儀的進展經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。在實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。

今天科儀的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢！

氦質譜檢漏儀故障與處理

(1)內部的密封結構

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。氦氣檢漏儀氦氣檢漏儀是氦質譜檢漏儀((HeliumMassSpectrometerLeakDetector)的俗稱，運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2)，位于隔熱板的上方：①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時，有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

(2)定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內部結構緊湊，各密封結構間的距離很近，檢測時定位難度較大。例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。經摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié)，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

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