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無塵車間的凈化工程有哪些裝修標準？

　　二、空調(diào)凈化要求及標準

　　大面積的無菌區(qū)域內(nèi)空氣的潔凈度至少應(yīng)為1萬級，此潔凈度下的每立方米空氣中含有≥0.5靶的粒子數(shù)應(yīng)不得超過350000個?？諝庵懈∮尉暮繎?yīng)不得超過100CFU/m3。無菌容器和密封件以及灌裝封口作業(yè)的局部暴露區(qū)域內(nèi)空氣的潔凈度應(yīng)達到100級要求，該潔凈度下每立方米空氣中含有≥0.5靶的粒子數(shù)應(yīng)不得過3500個，空氣浮游菌的含量應(yīng)不得超過5CFU/m3。

送風(fēng)口：送風(fēng)口的設(shè)置位置、結(jié)構(gòu)型式、出口風(fēng)速。同時，送風(fēng)溫度必須滿足衛(wèi)生標準的要求。

要保證潔凈室內(nèi)要求的潔凈度，對正常運行的凈化空調(diào)系統(tǒng)、潔凈室，必須做到進入潔凈室內(nèi)的空氣是清潔的，進入潔凈室內(nèi)的人和物品就應(yīng)該經(jīng)過必要的凈化處理，盡量減少人和物帶入潔凈室內(nèi)的灰塵量。要保證潔凈室內(nèi)的潔凈度應(yīng)采取以下主要措施：保證人凈的措施;保證進入潔凈室物料的凈化;保證進入潔凈室內(nèi)的空氣是潔凈的;保證凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)量;按要求保證潔凈室內(nèi)的正靜壓值;盡量減少潔凈室的產(chǎn)塵量;保證對潔凈室內(nèi)的定期清掃。

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

潔凈室中的氣流速度規(guī)定

這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。

對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求;

(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。

(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。