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潔凈室中的氣流速度規(guī)定:這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱(chēng)層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風(fēng)速的可行性。
無(wú)塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)建成的無(wú)塵潔凈房間。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A型級(jí)別。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A型級(jí)別,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。
在無(wú)塵車(chē)間的選址上要符合無(wú)塵車(chē)間的要求,可以方便企業(yè)進(jìn)行出產(chǎn)活動(dòng),并且考慮到資源的便捷和出資的金額。有車(chē)間就觸及到有工人日子,因而將地址選在方便日子和水質(zhì)條件好的當(dāng)?shù)兀龅街車(chē)形廴驹磻?yīng)該要提早考慮到危害性。車(chē)間內(nèi)有許多的通道和線(xiàn)路需求提早設(shè)定好,防止因?yàn)橛|及的缺陷在后期運(yùn)用的時(shí)分產(chǎn)生,可以將人行路途和車(chē)道別離設(shè)定,裝備合理的線(xiàn)路和管道,無(wú)塵車(chē)間裝飾要對(duì)將來(lái)的運(yùn)用有效果,可以帶給企業(yè)愈加便捷的操作流程才是合理的規(guī)劃。