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光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
GMP潔凈車間,凈化工程規(guī)劃應(yīng)確保安全出產(chǎn)和滿足環(huán)境保護(hù)的要求。云潔凈化工程的稍置和各項(xiàng)設(shè)備的規(guī)劃均有必要契合消防、防火的要求,應(yīng)按國家的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行規(guī)劃,由于潔凈室凈化工程內(nèi)的平面和空間扣置持殊、走道彎曲等特點(diǎn),在進(jìn)行各項(xiàng)技能設(shè)備的系統(tǒng)規(guī)劃、設(shè)備裝備和材質(zhì)選樣時(shí),加特別留意按規(guī)定選用契合要求的系統(tǒng)、沒備和材質(zhì)。
無塵車間凈化工程該如何選擇與維護(hù)保養(yǎng)呢?
1.應(yīng)選擇塵土性偏少的凈化工程及有關(guān)設(shè)備,特別是在要留意主題活動(dòng)一部分的塵土。
2.應(yīng)選擇浮塵之危害較小的凈化工程或插口設(shè)備。
3.制造用的水、汽體、等通常是導(dǎo)致環(huán)境污染的緣故,故應(yīng)配置過濾系統(tǒng)。
4.設(shè)計(jì)各設(shè)備的配備室內(nèi)空間時(shí),事前宜考慮到不容易累積微塵的構(gòu)造,設(shè)計(jì)各并且以非常容易清理為標(biāo)準(zhǔn)。
5.機(jī)械泵等非常容易造成空氣污染物的這種設(shè)備,應(yīng)設(shè)定在潔凈室外邊或送風(fēng)區(qū),并改裝排汽管線排氣管。
6.設(shè)定排水管道線、汽體管道和電路系統(tǒng)時(shí),其結(jié)構(gòu)須充分考慮非常容易清理,不容易累積空氣污染物。
7.制造及有關(guān)設(shè)備應(yīng)按時(shí)清理,以防止微塵的沉積。