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中國空氣凈化技術(shù)起步于上世紀(jì)60年代引起關(guān)注并得到推廣和應(yīng)用
中國的空氣凈化技術(shù)起步于上世紀(jì)60年代、90年代引起關(guān)注并得到推廣和應(yīng)用。到今天,大大小小的空氣凈化工程公司如雨后春筍般遍地開花,技術(shù)力量參差不齊、魚目混珠。 潔凈手術(shù)部的建筑裝飾應(yīng)遵循不產(chǎn)塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉、容易清潔和負荷防火要求的總原則。 潔凈手術(shù)部內(nèi)地面應(yīng)平整,采用耐磨、防滑、耐腐蝕、易清洗、不易起塵與不開裂的材料制作。有特殊要求的,可采用有特殊性能的涂料地面。
節(jié)能化成為潔凈工程重要目標(biāo)
節(jié)能化成為潔凈工程重要目標(biāo) 潔凈廠房是我國的耗能大戶之一,據(jù)不完全統(tǒng)計,潔凈室的能耗是一般寫字樓的10~30倍。我國的8英寸芯片廠,潔凈室單位面積能耗比美國同型工廠高15%。美國耗能1.28 kW/m2~1.63 kW/m2,而中國耗能1.48 kW/m2~1.93 kW/m2(資料來源:中國電子學(xué)會潔凈分會)。以上海某芯片廠為例,其全年耗電量51%是用于潔凈工程運行及相關(guān)的維護,如果將51%的能耗合理降低,對企業(yè)來說就意味著利潤的增長。因此,潔凈室下游相關(guān)行業(yè)企業(yè)越來越重視潔凈室的節(jié)能問題。這就要求潔凈工程行業(yè)的設(shè)計和施工企業(yè),從客戶需求出發(fā),從設(shè)計理念、建造施工、設(shè)備配備及運行等各個方面進行節(jié)能設(shè)計,只有采取的節(jié)能技術(shù),整個潔凈工程行業(yè)才能持續(xù)、良性發(fā)展。
潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染
潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前,國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。