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發(fā)布時間:2020-08-23 08:57  






濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件

濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件,相對濕度是無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年,在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括: 1、細(xì)菌生長; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。


管線組織潔凈室的隱蔽組織方式

管線組織 潔凈室的管線非常復(fù)雜,所以對這些管線均采用隱蔽組織方式。具體隱蔽組織方式有以下幾種。 (1)技術(shù)夾層 a.頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面,故作為夾層內(nèi)首先考慮的對象。一般將其安排在夾層的上方,其下安排電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可承受一定重量時,可以在上面設(shè)置過濾器及排風(fēng)設(shè)備等。 b.房間技術(shù)夾層。這種方式和只有頂部夾層相比,可以減少夾層的布線與高度,可以省去回風(fēng)管道返回上夾層所需的技術(shù)夾道。在下夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機(jī)動力設(shè)備配電等,某層潔凈室的上夾道可以兼做上一層的下夾道。 1. 技術(shù)夾道(墻) 上下夾層內(nèi)的水平管線一般都要轉(zhuǎn)向?yàn)樨Q向管線,這此豎向管線所在的隱蔽空間即技術(shù)夾道。技術(shù)夾道還可以放置不宜在潔凈室內(nèi)的一些輔助設(shè)備,甚至還可以作為一般回風(fēng)管道或靜壓箱,有的可安設(shè)光管型散熱器。 這類技術(shù)夾道(墻)由于大多采用輕質(zhì)隔斷,所以當(dāng)工藝調(diào)整時,可方便地進(jìn)行調(diào)整。


無塵車間

為證明食品包裝無塵車間工作得令人滿意,必須證明其滿足了下述準(zhǔn)則的要求:

1.食品包裝無塵車間的送風(fēng)量充足,足以稀釋或消除室內(nèi)產(chǎn)生的污染。

2.食品包裝無塵車間內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動,受污染空氣的流動達(dá)到程度,空氣在門口處和室內(nèi)建筑中的流動方向正確。

3.食品包裝無塵車間的送風(fēng)不會顯著增加室內(nèi)的污染。

4.食品包裝無塵車間室內(nèi)空氣的運(yùn)動狀態(tài)可保證密室內(nèi)沒有高濃度聚集區(qū)域。

如果潔凈室達(dá)到了上述這些準(zhǔn)則的要求,就可以測量其粒子濃度或微生物濃度(必要時),以確定其達(dá)到了規(guī)定的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。





潔凈手術(shù)部水系統(tǒng)主要包括:給水、排水、熱水、純化水與高純水(如水)。每個部分使用什么材質(zhì)或者怎樣設(shè)計都是有標(biāo)準(zhǔn)的。

飲用給水系統(tǒng)不應(yīng)采用鍍鋅鋼管,可采用給水塑料管(鋼管內(nèi)壁襯塑)、聚丙乙烯管(PPR)、無縫銅管、不銹鋼管等;

排水系統(tǒng)常用聚、聚淥乙烯(PVC)材質(zhì);

熱水系統(tǒng)的維持儲存溫度不低于60度,或循環(huán)溫度在51度以上。材質(zhì)常選用無縫銅管、不銹鋼管、聚丙乙烯管(PPR);

純化水和高純水管道采用不銹鋼(SUS);

潔凈工程水系統(tǒng)在施工設(shè)計要前期配合、圖紙技術(shù)和施工界面確認(rèn)內(nèi)容同步進(jìn)行,在確保了方案以后開始施工。





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