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潔凈室的冷熱源機(jī)組:a
潔凈室的冷熱源機(jī)組: a.電驅(qū)動(dòng)的壓縮式制冷機(jī) 電驅(qū)動(dòng)的壓縮式制冷機(jī)主要以氟里昂、氨為制冷劑,民用制冷機(jī)大部分采用氟里昂作為制冷劑。按冷卻介質(zhì)的種類可分為空氣冷卻和水冷卻兩種形式,按壓縮機(jī)種類可分為活塞式、螺桿式、離心式三種形式,按提供的冷源或熱源情況可分為冷水機(jī)組和熱泵機(jī)組兩種形式。 人身凈化道路 為了在操作中盡量削減人活動(dòng)發(fā)生的污染,人員在進(jìn)入凈化區(qū)之前,有必要替換凈化服并吹淋、洗澡、消毒。這些辦法即“人身凈化”簡(jiǎn)稱“人凈”。 人凈用房中替換凈化服的房間應(yīng)予送風(fēng),并對(duì)進(jìn)口側(cè)等其他房間堅(jiān)持正壓,對(duì)廁所、淋浴堅(jiān)持少許正壓,而廁所、淋浴應(yīng)堅(jiān)持負(fù)壓。
無(wú)塵凈化車間施工裝修時(shí)的要求及注意事項(xiàng)
現(xiàn)今社會(huì),無(wú)塵凈化車間的裝修被很多生產(chǎn)型企業(yè)所重視,無(wú)塵凈化車間不僅能對(duì)產(chǎn)品的精度、質(zhì)量、穩(wěn)定性及成功率等都有顯著的作用,同時(shí)還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。在之前的文章里,我們講解了關(guān)于無(wú)塵凈化車間施工裝修時(shí)的要求及注意事項(xiàng),今天繼續(xù)為大家講述凈化車間的基本要求。 廠房、設(shè)備、容器應(yīng)按什么要求制定清潔規(guī)程? 廠房、設(shè)備、容器等均應(yīng)按藥品生產(chǎn)車間、工序、崗位生產(chǎn)和空氣潔凈度等級(jí)的要求制定清潔規(guī)程,其內(nèi)容包含:清潔辦法、程序、間隔時(shí)間、運(yùn)用的清潔劑或消毒劑,清潔東西的清潔辦法和寄存地址。
凈化車間與機(jī)房離隔的區(qū)別
機(jī)房方位 空調(diào)機(jī)房接近需求送風(fēng)量大的凈化車間,力求風(fēng)管的線路。但從避免噪聲和振蕩來(lái)說(shuō)又需求把凈化車間與機(jī)房離隔。這兩方面都予以思考。離隔方法有: 結(jié)構(gòu)別離方法。有以下幾種: (1)沉降縫離隔式。使沉降縫在凈化車間與機(jī)房之間經(jīng)過(guò),起切割效果。 (2)夾壁墻離隔式。假如機(jī)房緊靠?jī)艋囬g,不是共用一面墻隔墻,而是各自有各自的隔墻,而雙面隔墻之間留有必定寬度的縫隙。 (3)輔佐室離隔式。在凈化車間與機(jī)房之間設(shè)輔佐室,起緩沖效果。
我國(guó)使用的0
我國(guó)使用的0.1微米十級(jí)潔凈室主要依賴從國(guó)外進(jìn)口。由于高潔凈級(jí)別的潔凈室造價(jià)十分昂貴,0.1微米十級(jí)潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬(wàn)美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例,這與集成電路工藝不斷更新,產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來(lái)越快的發(fā)展趨勢(shì)不相適應(yīng),嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國(guó)ASYST公司、德國(guó)MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)的潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中,采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境,把投資比例壓縮到別的微環(huán)境,消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。