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蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)的原理及性能,你了解多少?
電鍍?cè)O(shè)備真空中制備膜層可防止膜料和鍍件表面的污染,消除空間碰撞,提高鍍層的致密性和可制備單一化合物的特殊功能的鍍層。對(duì)于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(shí)間(或決定于裝料量),并與源和基片的距離有關(guān)。從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。排氣系統(tǒng)一般由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、管道和閥門組成。目前所用的蒸發(fā)源主要有電阻加熱、電子束加熱、感應(yīng)加熱、電弧加熱和激光加熱等多種形式。蒸氣分子平均動(dòng)能約為0.1~0.2電子伏。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。
為了提高鍍層厚度的均勻性,真空室內(nèi)的鍍件夾具有行星機(jī)構(gòu)或自轉(zhuǎn)加公轉(zhuǎn)的運(yùn)動(dòng)裝置,如用行星運(yùn)動(dòng)方式,這種運(yùn)動(dòng)方式成膜均勻性好,臺(tái)階覆蓋性能良好,鍍件裝載量大,可以充分利用真空鍍膜室的有效空間,是目前經(jīng)常采用的運(yùn)動(dòng)方式。蒸發(fā)鍍膜機(jī)主要由真空室、排氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和電氣設(shè)備四部分組成。
五金首飾真空鍍膜機(jī)
集成了直流磁控濺射,中頻濺射和電弧離子蒸發(fā)技術(shù),結(jié)合線性電離源和脈沖偏壓涂層薄的沉積顆粒。各種膜性能的改善,能大衣合金薄膜,復(fù)合膜,多層復(fù)合膜的金屬表面上以及非金屬。金首飾真空鍍膜機(jī)集成了直流磁控濺射,中頻濺射和電弧離子蒸發(fā)技術(shù),結(jié)合線性電離源和脈沖偏壓涂層薄的沉積顆粒。各種膜性能的改善,能大衣合金薄膜,復(fù)合膜,多層復(fù)合膜的金屬表面上以及非金屬。經(jīng)過(guò)多年專門的研發(fā)我們的工程師,通過(guò)獨(dú)特的陰極電弧離子和非平衡磁控系統(tǒng),我們開發(fā)了一套計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)使涂膜附著力密度以及復(fù)雜的一致性好,解決手工操作的復(fù)雜性,膜的顏色不一致等問(wèn)題。
真空鍍膜機(jī)工作原理真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)與工作原理介紹之真空罐
真空鍍膜機(jī)首要指一類需求在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,詳細(xì)包含許多品種,包含真空離子蒸騰,磁控濺射,MBE分子束外延,○○PLD激光濺射堆積等許多種。首要思路是分紅蒸騰和濺射兩種。
需求鍍膜的被成為基片,鍍的資料被成為靶材?;c靶材同在真空腔中。
蒸騰鍍膜通常是加熱靶材使外表組分以原子團(tuán)或離子辦法被蒸騰出來(lái),并且沉降在基片外表,通過(guò)成膜進(jìn)程(散點(diǎn)-島狀構(gòu)造-迷走構(gòu)造-層狀成長(zhǎng))構(gòu)成薄膜。關(guān)于濺射類鍍膜,能夠簡(jiǎn)略理解為運(yùn)用電子或高能激光炮擊靶材,并使外表組分以原子團(tuán)或離子辦法被濺射出來(lái),并且終究堆積在基片外表,閱歷成膜進(jìn)程,終究構(gòu)成薄膜。
鍍膜設(shè)備該選擇哪種主泵配置
有油真空系統(tǒng)基本是以油擴(kuò)散泵為主泵,前級(jí)泵采用機(jī)械泵或者羅茨泵。我們知道,油擴(kuò)散泵的壓力方位比較大,同時(shí)抽氣速率非常的高,能夠達(dá)到每秒十幾萬(wàn)升。其工作能力在業(yè)內(nèi)是數(shù)一數(shù)二的,這也得益于其具有良好的性能。從優(yōu)點(diǎn)上來(lái)講,有油真空系統(tǒng)工作可靠,沒(méi)有振動(dòng),沒(méi)有噪音,壽命長(zhǎng),維護(hù)建檔透支費(fèi)用低,是很多廠家都喜歡使用的。但是其缺點(diǎn)也非常的明顯,就是會(huì)形成污染源,大規(guī)格泵在這方面更加的嚴(yán)重。