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氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)點
180度非均勻磁場的質(zhì)譜室設(shè)計,對焦準確,靈敏度高。
檢漏口耐壓高,可檢漏率量程寬,大漏小漏全可檢。
離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲,壽命長、靈敏度高。
檢漏狀態(tài)下獨特的三屏切換,信息更豐富,檢漏更方便。
具有快速清氦功能和快速響應(yīng)功能。檢漏狀態(tài)一鍵清零。
以上內(nèi)容由中科鼎新公司為您提供,希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。
氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)參數(shù)
全自動液晶觸摸彩屏顯示,實現(xiàn)了智能自動化,操作方便、簡單可靠。
中英文菜單。
主要技術(shù)指標
1. 可檢漏率:5×10-13Pa·m3/s
2. 漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-13Pa·m3/s
3. 啟動時間:≤3min
4. 響應(yīng)時間:≤1.0s
5. 檢漏口的壓力:1000Pa
6. 電源要求:220v,50Hz,單相,10A
7. 機械泵抽速:4L/S
8. 工作環(huán)境:5-40℃
9. 相對濕度:≤80%
10. 外形尺寸:600(W)×550(D)×1000(H)
11. 重量:65kg
氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的氦質(zhì)譜檢漏儀關(guān)鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,達到了細檢漏的目的。