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凈化工程在設(shè)計時,工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來對潔凈度的要求更加高。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。
而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間凈化工程的等級劃分比較的嚴(yán)格,一般按照7個等級進(jìn)行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化安全要求是根據(jù)等級來實施的,凈化工程等級數(shù)越小,級別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。1000級 一般只對塵埃濃度做要求,用于光學(xué)器件,儀器等高精儀器等10000級,用于液壓設(shè)備的生產(chǎn),和一些食品飲料的生產(chǎn)。100000級,這個級別比較的低,對凈化度要求不是很高,主要在印刷廠,包裝廠等。
在實際施工中,凈化項目通常分為專業(yè),分工和分時。 這種安排有利于各種專業(yè)和工作類型的管理。 但是,易于進(jìn)行多塵和無塵的交叉操作,應(yīng)盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免,應(yīng)該防止灰塵和有效清潔。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。