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真空設備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。只要水壓不變,泄漏率大小就不會發(fā)生很大變化,因而可以獲得較為一致的結(jié)果。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。
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真空設備檢漏
一個真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實的,也是沒有必要的,所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實際應用的具體條件,對漏率指標提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足夠小,使得平衡壓強低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強,這些漏孔就是允許的。氫氣檢漏儀可以為您帶來傳統(tǒng)檢漏無法滿足的更靈活的檢漏解決方案。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量,稱da允許漏率,簡稱允許漏率。此值不僅是設計真空系統(tǒng)的一項主要指標,也是檢漏的依據(jù)。
如果已知允許的總氣載,而沒有具體指明究竟有多大,那么,在設計合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總,不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。
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一個真空系統(tǒng),經(jīng)相當長時間抽氣之后,仍然達不到預期的真空度,可能的原因有:抽氣情況不良,即抽氣系統(tǒng)本身的問題。放氣,即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源?;竟ぷ髟硎鞘褂脤iT開發(fā)的氫氣傳感器,它只對氫氣有響應信號,而對其他氣體沒有響應,屬于唯1性檢漏性檢漏方法。漏氣,即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問題,即準確檢出漏孔并加以修補。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位,以便修補堵漏。
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