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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
尺寸漲縮原因分析
膠片在光繪前沒(méi)有經(jīng)過(guò)預(yù)置
由于膠片制造時(shí)無(wú)法預(yù)先控制膠片中的濕度與每個(gè)生產(chǎn)車間的濕度一致,因此使用之前應(yīng)先使其與工作環(huán)境達(dá)到平衡的狀況。建議預(yù)置時(shí)間為12小時(shí),預(yù)置時(shí)必須打開膠片的內(nèi)包裝,使其與外界的空氣充分接觸。
隨著沖版量的不斷增加和空氣中的CO2不斷溶入,顯影液中的OH-濃度會(huì)下降,pH值將越來(lái)越低,顯影時(shí)間應(yīng)慢慢變長(zhǎng),至后在正常曝光條件下PS版無(wú)法顯影,這就是顯影液疲勞的現(xiàn)象。但隨著顯影液pH值的降低,堿液對(duì)氧化層和涂層樹脂的腐蝕力下降,版材的網(wǎng)點(diǎn)再現(xiàn)性及耐印力比用新配制的顯影液好一些。但必須注意兩點(diǎn),一是沖版量必須控制在顯影液容許范圍內(nèi);通過(guò)光刻制版工藝,將微米級(jí)和納米級(jí)的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。
光刻掩膜版材質(zhì)可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時(shí)所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃為基板材料,光學(xué)透過(guò)率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長(zhǎng),主要用于掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過(guò)率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版
石英巖是一種主要由石英組成的變質(zhì)巖(石英含量大于85%),是石英砂巖及硅質(zhì)巖經(jīng)變質(zhì)作用形成。一般是由石英砂巖或其他硅質(zhì)巖石經(jīng)過(guò)區(qū)域變質(zhì)作用,重結(jié)晶而形成的。也可能是在巖漿附近的硅質(zhì)巖石經(jīng)過(guò)熱接觸變質(zhì)作用而形成石英巖。