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化學氣相沉積法簡介
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化學氣相堆積(簡稱CVD)是反響物質在氣態(tài)條件下發(fā)生化學反響,生成固態(tài)物質堆積在加熱的固態(tài)基體外表,進而制得固體資料的工藝技術。它本質上歸于原子領域的氣態(tài)傳質進程。
化學氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機資料的新技術?;瘜W氣相淀積法已經廣泛用于提純物質、研發(fā)新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜資料。這些資料可所以氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可所以III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物,并且它們的物理功用能夠通過氣相摻雜的淀積進程準確操控?,F(xiàn)在,化學氣相淀積已成為無機合成化學的一個新領域。ICP頭尺寸:340mmmm,噴淋頭與樣品之間電極間距50mm。
化學氣相沉積的特點有哪些?
? 高溫石英管反應器設計
? 溫度范圍:室溫到1100度
? 多路氣體準確控制
? 標準氣壓計
? 易于操作
? 可配機械泵實現(xiàn)低壓TCVD
? 可用于制備金屬氧化物、氮化物、碳化物、金屬薄膜
? 液體前驅體噴頭
沈陽鵬程真空技術有限責任公司本著多年化學氣相沉積行業(yè)經驗,專注化學氣相沉積研發(fā)定制與生產,先進的化學氣相沉積生產設備和技術,建立了嚴格的產品生產體系,想要更多的了解,歡迎咨詢圖片上的熱線電話?。?!
PCVD工藝的具體流程
PCVD工藝的具體流程如下:
(1)沉積。沉積過程借助低壓等離子體使流進高純度石英玻璃沉積管內的氣態(tài)鹵化物和氧氣在1000℃以上的高溫條件下直接沉積成設計要求的光纖芯中玻璃的組成成分。
(2)熔縮。沿管子方向往返移動的石墨電阻爐對小斷旋轉的管子加熱到大約2200℃,在表面張力的作用下,分階段將沉積好的石英管熔縮成一根實心棒(預制棒)。
(3)套棒。為獲得光纖芯層與包層材料的適當比例,將熔縮后的石英棒套入一根截面積經過精心挑選的管子中,這樣裝配后即可進行拉絲。
(4)拉絲。套棒被安裝在拉絲塔的頂部,下端緩緩放入約2100℃的高溫爐中,此端熔化后被拉成所需包層直徑的光纖(通常為125 cm),并進行雙層涂覆和紫外固化。
(5)光纖測試。拉出的光纖要經過各種試,以確定光纖的幾何、光學和機械性能。
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