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全球的真空泵公司Elmo和Rietschle已與Gardner Denver共同攜手。Elmo Rietschle代表著整個(gè)真空和壓力技術(shù)領(lǐng)域的產(chǎn)品組合、應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)和專(zhuān)業(yè)技術(shù)。擁有里其樂(lè)(Elmo Rietschle),您的生產(chǎn)過(guò)程將更快捷、更安全、更有效。 德國(guó)進(jìn)口里其樂(lè)Elmo Rietschle真空泵類(lèi)型: (1) 有油式旋片真空泵; (2)真空泵羅茨泵。 德國(guó)進(jìn)口里其樂(lè)Elmo Rietschle真空泵設(shè)計(jì)原理:體積減小壓力增大(靜態(tài)壓縮系統(tǒng)) 體積少壓力增加是旋片式運(yùn)行的原理。這種靜態(tài)設(shè)計(jì)可以在真空,壓力和二者結(jié)合的應(yīng)用中產(chǎn)生良好的效果。根據(jù)規(guī)格和構(gòu)造,例如油潤(rùn)滑式和無(wú)油式,真空度可達(dá)0.1mbar,流量從3到1535m3/hr;壓力達(dá)1.5bar,流量從3到155m3/hr。當(dāng)同時(shí)應(yīng)用于真空和壓力時(shí),可同時(shí)達(dá)到0.6bar的真空度和0.7bar的正壓。
進(jìn)口真空泵不應(yīng)用來(lái)抽除氧氣含量過(guò)高、有性及其對(duì)金屬資料有浸蝕的氣體。另一個(gè),也不合適吸入能與泵油起化學(xué)反響的氣體和帶有大批量水蒸汽的氣體等
泵可在通大氣環(huán)境或其他真空度下一次啟動(dòng),泵口如裝接電磁閥,應(yīng)與泵一同操作。
里其樂(lè)干式真空泵常見(jiàn)的應(yīng)用領(lǐng)域如下:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。半導(dǎo)體蝕刻生產(chǎn)工藝中往往要用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而是需要微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求。
4)在化學(xué)工業(yè)、工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,需要防止造成污染,適合用干式真空泵。
5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。
Rietschle(里其樂(lè))油潤(rùn)滑旋片式真空泵系列(油式泵)
VC、VCA、VCAH、VCB、VCEH、VCE、VCH、VGD系列:如 VCB20,VC50,VC75,VC100,VC150,VC200,VC300,VC202,VC303,VC400,VC500,VC700,VC900,VC1100,VC1300,VCA25,VCA40,VLT15,VLT25,VLT40,VLT60,VTA60,VTA80,VTA100等