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溫濕度
潔凈室的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。高1效送風口產品可分為兩大類:一、可更換過濾器形式:二、一次性風口形式產品功能:1、用于不同等級和多樣維護結構的潔凈室。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別 是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
無塵車間
1. 空氣潔凈高度的房間或區(qū)域宜布置在人員少到達的地方,并宜靠近空調機房。7.其他測試:溫度、相對濕度、室內加熱與冷卻容量、噪聲值、光照度、振動值。不同潔凈級別的房間或區(qū)域宜按空氣潔凈度的高低由里及外布置;潔凈度相同的房間或區(qū)域的布置則宜相對集中。潔凈度不同的房間之間相互聯系時,要防止交叉污染的措施,如氣閘室、空氣吹淋室、緩沖間或傳遞窗等。
2. 宜盡量減少潔凈區(qū)域的面積,潔凈室內只應放置必要的工藝設備和設施,室內工作人數應控制在z低限度。同時,還應考慮到使原材料、半成品和成品存放區(qū)面積與生產規(guī)模相適應。
3. 根據需要合理布置輔助車間。清洗工具洗滌、存放室、維修保養(yǎng)室均不宜設在潔凈生產區(qū)內;潔凈工作服的洗滌、干燥室的潔凈等級一般可低于生產區(qū)一個級別,而無菌服裝的整理、滅菌室,其潔凈級別應與生產區(qū)相同。
首1選技術人員在設計無塵車間需采取以下措施:
1.設計方案應具有較好的適應性(靈活性),它是實驗性車間必須考慮的問題(如單向流/非單向流的轉換、分區(qū)轉換等)。
2.廠址選擇、建筑布局與工藝設置的合理性,可以從根本上降低初投資及運行費用。
3.正確確定生產設備的熱負荷對選定空調制冷設備有直接關系。
4.室內換氣次數和末級過濾器效率之間的組合(達到相同級別)需進行經濟比較。
5.新風集中處理有利于應用地下水預冷、除塵和加濕。
6.空調和凈化功能的分離有利于發(fā)揮各自的技術經濟合理性。
7.工藝過程中和空調系統(tǒng)的熱回收是可以直接獲益的措施,因此應充分利用這部分熱量,使之達到物盡其用的目的。