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國內半導體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設備。加工表面粗糙,浪費材料,金剛石帶鋸價格也不菲。
實際上,應該使用金剛石線鋸機切割加工,能得到更高的質量。
元素環(huán)形金剛石線切割機的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺進給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
金屬線切割
金屬線切割過程中的注意事項
如各類硬質合金鋼、氮化硅陶瓷、金屬陶瓷、鈦合金、電機等。(2)金剛線切割出片率較砂漿線切割出片率每公斤多出10片,硅料成本下降。這是因為金屬類的樣品具有粘刀的特性,降低金剛石線的磨削率,若切割速度設置過快會使與樣品接觸處的金剛石線出現(xiàn)一定向上的弧度,兩個導向輪間線的跨距越大,允許的弧度越大,一般跨距是900㎜時允許金剛石線與樣品接觸處出現(xiàn)弧度的至高點與金剛石線的水平位置的距離不超過6㎜
高速切割設備
切割行程的設置:
切割行程=樣品的長度 5mm。為保證將樣品切斷,通常會在樣品的實際高度之上增加5㎜。它是利用電鍍或樹脂粘結的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面,將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產生磨削,達到切割的效果。當要求對樣品進行開槽時,實際切割行程應與開槽深度相同,為保證停止切割時所開槽口深度達到要求,當切割行程達到設定行程時應暫停切割,但主軸帶動金剛石切割線繼續(xù)運行一段時間,從而使樣品未達到切割深度的位置繼續(xù)被切割,直到樣品被切割部位每一點都達到所要求的切割深度。