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顏色及外觀:依退火狀況而不同,由棕黃色到褐色,拋光基片有自然孿晶疇;化學(xué)穩(wěn)定性:室溫下不溶于礦物酸,溫度大于150℃時(shí)可溶于H3PO4。鋁酸鑭有望代替二氧化硅,用來作為金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)管器件新的柵介質(zhì),使半導(dǎo)體工業(yè)在器件尺寸縮小到納米及以下時(shí),繼續(xù)遵從“摩爾定律”。鋁酸鑭(LaAlO3)單晶的應(yīng)用,取決于大尺寸鋁酸鑭(LaAlO3)晶體生長(zhǎng)。
鋁酸鑭晶體當(dāng)升溫時(shí)在560±10℃有一從三角相到立方相的相變,相變?yōu)檫B續(xù)的轉(zhuǎn)變較快的區(qū)域在500-560℃之間,降溫時(shí)為可逆的,且無(wú)明顯的熱滯,并用g射線衍射法證實(shí)570℃為立方相,室溫為三角相。鋁酸鑭的制備方法主要有:燃燒合成法、共沉淀法、均勻沉淀法、溶膠凝膠法、醇鹽水解法和液相混合法。鑭、鋁的源材料一般為金屬氧化物、無(wú)機(jī)鹽或醇鹽。鋁酸鑭屬于鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的ABO3化合物,具有介電常數(shù)小,介電損耗低,晶格匹配好,熱膨脹系數(shù)小,化學(xué)穩(wěn)定性好,能隙寬,比表面積大。
鋁酸鑭(LaAlO3)晶體有較低的介電損耗,與ZrO2、 SrTio3、藍(lán)寶石等襯底材料相比,綜合性能更為理想。 鋁酸鑭有一定的活性,熱穩(wěn)定性好,被廣泛的應(yīng)用于催化材料,襯底材料,高溫超導(dǎo)薄膜基片,合成微波介質(zhì)陶瓷材料,高溫燃料電池,微波介電諧振器等方面。在硅基上生長(zhǎng)鋁酸鑭薄膜,是當(dāng)今國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)一。用基于原子層控制異質(zhì)外延技術(shù),在硅基上實(shí)現(xiàn)了無(wú)界面層外延生長(zhǎng),制備出高介電常數(shù)的鋁酸鑭薄膜,降低了超薄高介電常數(shù)薄膜漏電流,解決了下一代場(chǎng)效應(yīng)器件的關(guān)鍵技術(shù)之一。