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無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A型級別。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A型級別,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
潔凈室的管理規(guī)范:
1、進入潔凈室的管理,包括對潔凈室工作人員進入,物料進入,各類設備的搬入以及相關的設備,管線的維護管理,應做到不得將微粒,微生物帶入潔凈室。
2、操作管理技術,對潔凈室內人員用潔凈工作的制作,穿著和其清洗,操作人員的移動和動作,室內設備及裝修材料的選擇和清掃,滅菌等,盡可能減少,防止?jié)崈羰覂葔m粒,微生物的產生,滯留,繁殖等。
不同的企業(yè)對于無塵車間裝飾有著不同的要求,不同的職業(yè)運用的無塵車間關于空間的凈化有著不同的要求,在進行過濾器(作用:過濾雜質等)的安置和挑選的時分要根據(jù)企業(yè)的要求和需求來進行安置。無塵室優(yōu)點:構造簡略、體系制作成本低,潔凈室的擴大比較簡單,在某些特殊用處場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。無塵廠房關于凈化空調體系的加濕問題而言,常用的加濕方法有許多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。