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廣州帕納光電科技有限公司----VARIAN分子泵維修；

泵排液后中斷吸入管路漏氣

處理方法：檢查吸入側(cè)管道連接處及填料函密封情況；

灌泵時(shí)吸入側(cè)氣體未排完

處理方法：要求重新灌泵；

吸入側(cè)突然被異物堵住

處理方法：停泵處理異物；

吸入大量氣體

處理方法：檢查吸入口有否旋渦，淹沒(méi)深度是否太淺。

1.隔膜泵的極限真空足以滿足高真空泵的前級(jí)耐壓需求 ,用VARIAN分子泵維修時(shí)，真空達(dá)0.3mbar；

2.即使真空度接近極限真空時(shí)，仍有很大的抽速；；

3.低能量消耗；

4低的反倒吸漏率，在斷電時(shí)不會(huì)放氣；

5.高穩(wěn)定性，為持續(xù)操作而設(shè)計(jì)（24h/7D）；

6.對(duì)冷凝液有很好的耐受性；

7.和分子泵相比，更好的極限真空穩(wěn)定性和維護(hù)周期；

8.在真空條件下仍可穩(wěn)定啟動(dòng)；

9.尺寸小、重量輕、振動(dòng)低；

葉輪鎖母越緊越好。全磁懸浮分子泵：無(wú)須潤(rùn)滑，與干泵一起使用，可獲得無(wú)油的清潔真空環(huán)境。機(jī)械密封泄漏中，軸套與軸之間的泄漏（軸間泄漏）是比較常見(jiàn)的。一般認(rèn)為，軸間泄漏就是葉輪鎖母沒(méi)鎖緊，其實(shí)導(dǎo)致軸間泄漏的因素較多，如軸間墊失效，偏移，軸間內(nèi)有雜質(zhì)，軸與軸套配合處有較大的形位誤差，接觸面破壞，軸上各部件間有間隙，軸頭螺紋過(guò)長(zhǎng)等都會(huì)導(dǎo)致軸間泄漏。

分子泵葉片破碎的原因：

是異物掉入;沒(méi)有安裝過(guò)濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會(huì)造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。我們?yōu)榇藢ｉT制造的樣泵多達(dá)1000余臺(tái)，對(duì)各項(xiàng)結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行了廣泛測(cè)試和分析。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時(shí)候會(huì)盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。

1分子泵振動(dòng)，可直接接于被抽系統(tǒng)。

　　對(duì)于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器，以便可能的減少振動(dòng)。

　　2沖擊防護(hù)：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐

　　機(jī)械振動(dòng)（預(yù)抽泵、前級(jí)泵、機(jī)械動(dòng)作等）

　　氣體振動(dòng)（氣量突變、壓強(qiáng)突變）

　　意外振動(dòng)（掉入異物、碰撞等）

　　注意：沒(méi)有對(duì)泵進(jìn)行必要防護(hù)，容易造成分子泵嚴(yán)重的破壞、甚至碎泵。

潤(rùn)滑脂充填量隨外殼的結(jié)構(gòu)和容積而有所不同，一般充填至容積的1/3－1/2為宜。水泵軸填料漏氣不但使機(jī)組能耗過(guò)大，而且會(huì)出現(xiàn)氣蝕現(xiàn)象，加快葉輪的損壞，直接影響水泵的使用壽命。充填量過(guò)多時(shí)，潤(rùn)滑脂因攪拌發(fā)熱發(fā)生變質(zhì)，老化和軟化。水泵機(jī)組和管路在使用一段時(shí)期后，應(yīng)做好水泵保養(yǎng)工作放盡水泵和管路內(nèi)的剩水。如拆卸方便，可將水泵和管路拆下來(lái)，并清理干凈。

軟啟動(dòng)器開(kāi)關(guān)電源在什么情況會(huì)導(dǎo)致程序流程遺失或是紊亂?

答：①短路②強(qiáng)影響③髙壓點(diǎn)火④覺(jué)得破譯。VARIAN分子泵維修

分子泵噪聲大怎樣定義?是不是有達(dá)標(biāo)規(guī)范，多少錢?

答:低于72db達(dá)標(biāo)，噪聲的尺寸不大好定義，必須專用儀器和特殊的接口測(cè)試。VARIAN分子泵維修