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廣州帕納光電科技有限公司----VARIAN分子泵維修；

泵排液后中斷吸入管路漏氣

處理方法：檢查吸入側(cè)管道連接處及填料函密封情況；

灌泵時吸入側(cè)氣體未排完

處理方法：要求重新灌泵；

吸入側(cè)突然被異物堵住

處理方法：停泵處理異物；

吸入大量氣體

處理方法：檢查吸入口有否旋渦，淹沒深度是否太淺。

1.隔膜泵的極限真空足以滿足高真空泵的前級耐壓需求 ,用VARIAN分子泵維修時，真空達(dá)0.3mbar；

2.即使真空度接近極限真空時，仍有很大的抽速；；

3.低能量消耗；

4低的反倒吸漏率，在斷電時不會放氣；

5.高穩(wěn)定性，為持續(xù)操作而設(shè)計（24h/7D）；

6.對冷凝液有很好的耐受性；

7.和分子泵相比，更好的極限真空穩(wěn)定性和維護(hù)周期；

8.在真空條件下仍可穩(wěn)定啟動；

9.尺寸小、重量輕、振動低；

葉輪鎖母越緊越好。全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境。機械密封泄漏中，軸套與軸之間的泄漏（軸間泄漏）是比較常見的。一般認(rèn)為，軸間泄漏就是葉輪鎖母沒鎖緊，其實導(dǎo)致軸間泄漏的因素較多，如軸間墊失效，偏移，軸間內(nèi)有雜質(zhì)，軸與軸套配合處有較大的形位誤差，接觸面破壞，軸上各部件間有間隙，軸頭螺紋過長等都會導(dǎo)致軸間泄漏。

分子泵葉片破碎的原因：

是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。我們?yōu)榇藢ｉT制造的樣泵多達(dá)1000余臺，對各項結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行了廣泛測試和分析。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。

1分子泵振動，可直接接于被抽系統(tǒng)。

　　對于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器，以便可能的減少振動。

　　2沖擊防護(hù)：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐

　　機械振動（預(yù)抽泵、前級泵、機械動作等）

　　氣體振動（氣量突變、壓強突變）

　　意外振動（掉入異物、碰撞等）

　　注意：沒有對泵進(jìn)行必要防護(hù)，容易造成分子泵嚴(yán)重的破壞、甚至碎泵。

潤滑脂充填量隨外殼的結(jié)構(gòu)和容積而有所不同，一般充填至容積的1/3－1/2為宜。水泵軸填料漏氣不但使機組能耗過大，而且會出現(xiàn)氣蝕現(xiàn)象，加快葉輪的損壞，直接影響水泵的使用壽命。充填量過多時，潤滑脂因攪拌發(fā)熱發(fā)生變質(zhì)，老化和軟化。水泵機組和管路在使用一段時期后，應(yīng)做好水泵保養(yǎng)工作放盡水泵和管路內(nèi)的剩水。如拆卸方便，可將水泵和管路拆下來，并清理干凈。

軟啟動器開關(guān)電源在什么情況會導(dǎo)致程序流程遺失或是紊亂?

答：①短路②強影響③髙壓點火④覺得破譯。VARIAN分子泵維修

分子泵噪聲大怎樣定義?是不是有達(dá)標(biāo)規(guī)范，多少錢?

答:低于72db達(dá)標(biāo)，噪聲的尺寸不大好定義，必須專用儀器和特殊的接口測試。VARIAN分子泵維修