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氦質(zhì)譜檢漏儀
高速排氣性能:在微漏模式下He的排氣速度達到5L/s ;2 2 采用與本體獨立的平版觸摸式顯示器:搭載無線控制系統(tǒng);2 可進行直觀操作:的識別性及簡易的測試畫面;2 支持多種真空泵:油回轉(zhuǎn)泵、渦旋型干泵;2 裝有方便使用及操作簡單的推車,901系列 也提供低底盤型號;
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氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理
被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦,檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體。當(dāng)試件有漏時,泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀,而被檢測。吸槍在試件表面移動,同時注視氦質(zhì)譜檢漏儀漏率指示的變化,一旦泄漏增加,吸槍所指位置即漏點所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。
降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。