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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。

逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比）即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。m3/s），然后對(duì)氦罩沖氦，同時(shí)觀察漏率顯示，一大增大，就說(shuō)明工件不合格。

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高，氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

噴氦法

噴氦法是，的檢漏方法。檢漏時(shí)，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴槍向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升，氦檢漏儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。

噴氦法檢漏中應(yīng)該注意以下幾個(gè)問(wèn)題：

1、實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低，一是由于噴槍所噴出的氦氣流是散開(kāi)的，故摻有一定數(shù)量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴槍噴出的氣流的方向不可能完全對(duì)準(zhǔn)漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。

2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由*近檢漏儀處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。

3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去漏孔。

4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的的漏孔點(diǎn)時(shí)，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住，在對(duì)另一點(diǎn)用細(xì)的噴槍進(jìn)行噴氦。

5、當(dāng)噴槍噴在某一點(diǎn)時(shí)，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。

6、檢出漏孔后，還應(yīng)再做幾次復(fù)檢。

7、檢漏場(chǎng)地要有良好的通風(fēng)條件，但也不能太大，不應(yīng)影響噴槍噴出的氦氣氣流的方向。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于化工管道檢漏

化學(xué)氣體大部分為有毒氣體，對(duì)人體造成很大的傷害，甚至?xí)霈F(xiàn)停止呼吸而。化學(xué)氣體泄漏事故不僅給公司造成巨額損失，而且給周邊村民造成傷害，生態(tài)環(huán)境也會(huì)遭到嚴(yán)重受損。為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時(shí)就應(yīng)該對(duì)化學(xué)管道和設(shè)備做氣密檢漏并且后期生產(chǎn)中也需要定期檢漏。常用的傳統(tǒng)氣體管道檢漏方法，如氣泡法和肥皂法在化工廠等有害氣體的管道檢漏不實(shí)用，檢測(cè)到微漏的氦質(zhì)譜檢漏儀成為了化工廠安全生產(chǎn)作業(yè)的保障。真空法氦質(zhì)譜檢漏采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。

氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護(hù)，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的不二的選擇。

氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測(cè)方面有兩種檢測(cè)方法，負(fù)壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負(fù)壓法。負(fù)壓法就是常說(shuō)的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。使用氦氣噴槍在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氦氣會(huì)立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀感應(yīng)到氦就會(huì)立刻有響應(yīng)。從而達(dá)到了檢漏的結(jié)果。氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時(shí)會(huì)自動(dòng)上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時(shí)噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對(duì)檢漏儀的位置），這是因?yàn)樵谙路綍r(shí)有可能被上方漏孔吸入；漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開(kāi)始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。

檢漏儀的故障和處理

1設(shè)備的分子泵不啟動(dòng)

分子泵不啟動(dòng)，主要有檢查供電和前級(jí)真空是否正常（較常見(jiàn)的是前級(jí)真空機(jī)械泵故障或沒(méi)有打開(kāi)造成的分子泵無(wú)法啟動(dòng)）?；蛘呤欠肿颖帽旧硪蛘駝?dòng)和粉塵污染造成的損壞。

2設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無(wú)法正常加電，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無(wú)法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

3前級(jí)機(jī)械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會(huì)使油色變黑，水汽會(huì)使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導(dǎo)致機(jī)械泵工作不正常。氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇氦質(zhì)譜檢漏儀廠家的氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇一般應(yīng)從以下幾方面考慮：(1)無(wú)害，不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害。另外過(guò)低的溫度會(huì)使機(jī)械泵油粘稠度增加無(wú)法啟動(dòng)，過(guò)高的溫度也會(huì)使機(jī)械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機(jī)械泵的環(huán)境溫度在 10至 40之間使用。