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磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)的特點(diǎn)
(1)鋼件形變小因?yàn)殇摷韺觿蚍Q遮蓋輝光,溫度完整性好,能夠根據(jù)操縱輸出功率輸出來(lái)保持勻稱提溫。另一個(gè)陰極無(wú)心插柳相抵了滲人原素造成的規(guī)格擴(kuò)一整
(2)滲層的機(jī)構(gòu)和構(gòu)造易于控制根據(jù)調(diào)節(jié)加工工藝主要參數(shù),可獲得單相電或多相的滲層機(jī)構(gòu)
(3)鋼件不必額外清除陰極無(wú)心插柳能夠合理除去空氣氧化膜,清潔鋼件表層,一起真空泵解決無(wú)新生兒空氣氧化膜,這種都降低了額外機(jī)器設(shè)備和綜合工時(shí),減少了成本費(fèi)。
(4)防水層便捷不需滲的地區(qū)可簡(jiǎn)易地遮掩起來(lái),對(duì)自然環(huán)境綠色食品,零污染,勞動(dòng)者標(biāo)準(zhǔn)好。
(5)經(jīng)濟(jì)收益高,耗能小盡管原始機(jī)器設(shè)備項(xiàng)目投資很大,但加工工藝成本費(fèi)極低,是這種便宜的工程設(shè)計(jì)方式 。除此之外,離子轟擊滲擴(kuò)技術(shù)性易保持加工工藝全過(guò)程或滲層品質(zhì)的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),品質(zhì)可重復(fù)性好,可執(zhí)行性強(qiáng)。
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真空磁控濺射鍍膜
所謂濺射就是用荷能粒子(通常用惰性氣體的正離子)去轟擊固體(以下稱靶材)表面,從而引起靶材表面上的原子(或分子)從其中逸出的一種現(xiàn)象。這一現(xiàn)象是格洛夫(Grove)于1842年在實(shí)驗(yàn)研究陰極腐蝕問(wèn)題時(shí),陰極材料被遷移到真空管壁上而發(fā)現(xiàn)的。靶基距、標(biāo)準(zhǔn)氣壓的危害靶基距都是危害磁控濺射塑料薄膜薄厚勻稱性的關(guān)鍵加工工藝主要參數(shù),塑料薄膜薄厚勻稱性在必須范圍之內(nèi)隨之靶基距的擴(kuò)大有提升的發(fā)展趨勢(shì),無(wú)心插柳工作中標(biāo)準(zhǔn)氣壓都是危害塑料薄膜薄厚勻稱性關(guān)鍵要素。
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磁控濺射中靶zhong毒是怎么回事,一般的影響因素是什么?
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靶zhong毒的物理解釋
(1)一般情況下,金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高,靶zhong毒后,靶材表面都是金屬化合物,在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高了空間的導(dǎo)通能力,降低了等離子體阻抗,導(dǎo)致濺射電壓降低。從而降低了濺射速率。一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當(dāng)發(fā)生靶zhong毒時(shí),濺射電壓會(huì)顯著降低。這種被稱為孿生靶濺射的中頻交流磁控濺射技術(shù),不但消除了陽(yáng)極的。(2)金屬靶材與化合物靶材本來(lái)濺射速率就不一樣,一般情況下金屬的濺射系數(shù)要比化合物的濺射系數(shù)高,所以靶zhong毒后濺射速率低。(3)反應(yīng)濺射氣體的濺射效率本來(lái)就比惰性氣體的濺射效率低,所以反應(yīng)氣體比例增加后,綜合濺射速率降低。
磁控濺射
磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor Deition,PVD)的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。但有一共同點(diǎn):利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,從而增大電子撞擊氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。