【廣告】
多弧離子PVD鍍膜設(shè)備
腔體結(jié)構(gòu): 立式前開門,臥式前開門,后置真空獲得系統(tǒng)
材質(zhì)用料: 腔體采用SUS304不銹鋼材質(zhì)
離子弧源: 依據(jù)設(shè)備大小不同配備多套弧電源系統(tǒng)
偏壓電源: 配備大功率單級(jí)脈沖偏壓電源
多弧靶材: 標(biāo)配多套鈦靶或不銹鋼靶材
轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng): 變頻調(diào)速,公自轉(zhuǎn)結(jié)合,可采用上傳動(dòng)或下傳動(dòng)方式
真空系統(tǒng)(裝飾鍍膜設(shè)備Decorative coating):擴(kuò)散泵(可選分子泵) 羅茨泵 機(jī)械泵 維持泵 深冷系統(tǒng)(可選)
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
真空鍍膜機(jī)工作的環(huán)境要求:
真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿足真空對(duì)環(huán)境的要求。真空對(duì)環(huán)境的要求,一般包括真空設(shè)備對(duì)所處實(shí)驗(yàn)室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求,和對(duì)處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。
鍍膜機(jī)工藝在裝飾品方面的運(yùn)用跟著經(jīng)濟(jì)的開展和生活水平的進(jìn)步,大家喜愛將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室表里裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五光十色。
鍍膜技能在飛機(jī)防護(hù)涂層方面的運(yùn)用飛機(jī)的鈦合金緊固件,原來選用電鍍辦法鍍鎘。但在鍍鎘中含有氫,所以在飛翔進(jìn)程中,遭到大氣、海水的腐蝕,鍍層上簡單發(fā)生"鎘脆",甚至導(dǎo)致"空難"。1964年,選用離子鍍辦法在鈦合金緊固件上鍍鋁,處理了飛機(jī)零件的"鎘脆"疑問。在離子鍍技能中,因?yàn)榻o工件施加負(fù)偏壓,能夠構(gòu)成"偽分散層"、細(xì)化膜層安排,因而能夠顯著進(jìn)步膜層的耐腐蝕功能。
工藝特點(diǎn)
(1)廣泛應(yīng)用于金屬涂層、陶瓷涂層、無機(jī)涂層材料等。
(2)在產(chǎn)量方面,從單件到大批量皆可。
(3)有質(zhì)量優(yōu)勢,沉積溫度低,薄膜成份易控,膜厚與淀積時(shí)間成正比,均勻性,重復(fù)性好,臺(tái)階覆蓋性優(yōu)良。
(4)工具涂層的生產(chǎn)效率不如PVD,具體取決于特定技術(shù)要求和輔助工藝。
4、適用材料
化學(xué)氣相沉積曾是真空技術(shù)廣泛用于陶瓷沉積的一種技術(shù),特別是對(duì)工具涂層更是這樣。
20世界80年代早期隨著等離子體輔助PVD工藝的顯露,CVD在工具方面的應(yīng)用衰落了。但由于這種工藝具有非常好的滲入特性,其在CVI、ALE等領(lǐng)域的工藝中有著很好的應(yīng)用前景,主要用于金屬涂層、陶瓷涂層、無機(jī)涂層材料。