高純供氣系統公司信息推薦「多圖」

實驗室供氣系統氣體管路

指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調節(jié)閥等部分組成，輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。

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大宗特氣供氣系統介紹

大宗特氣供氣系統主要針對大規(guī)模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。實驗室供氣系統氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調節(jié)閥等部分組成，輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

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電子特氣管道系統氦檢漏檢測規(guī)定

1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統，內向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發(fā)現的泄漏點經修補后，應重新經過氣密性試驗，合格后再按規(guī)定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統測試完畢，應充入高純氮氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。

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氦質譜檢漏儀

真空檢漏的方法很多，氦質譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統或容器中；

漏率（漏氣速率）：是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統或容器的氣體量；

1小可檢漏率：是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率；

檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率；

反應時間：也稱響應時間，是指從檢漏方法開始實施（如噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間；

消除時間：是指從檢漏方法停止（如停止噴吹示漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間；

漏孔堵塞現象：指由于真空檢漏作業(yè)操作不當導致塵?；蛞后w堵塞漏孔，檢漏時似乎不漏氣，但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。