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高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。第二，氣體管路工程中很重要的是鋼瓶間和管路的設(shè)計(jì)安裝及各個(gè)輔助元件的選擇和安裝。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。給水或其他液體管道在最i高點(diǎn)設(shè)有排氣裝置，排除積存在管道內(nèi)的空氣或其他氣體，以防止氣阻造成運(yùn)行失常。

實(shí)驗(yàn)室氣路優(yōu)點(diǎn)

在實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)安裝中，常采用集中供氣的方式輸送高純氣體，有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、保持氣體純度

專用氣瓶均配有沖洗閥，以排除每次更換氣瓶時(shí)引入的雜質(zhì)，確保了管路終端氣體的純度。

2、不間斷氣體供應(yīng)

氣路控制系統(tǒng)可以手動或自動方式在氣瓶之間進(jìn)行切換，以保證氣體的連續(xù)供給。

3、低壓警示

當(dāng)氣壓低于警報(bào)限時(shí)，報(bào)警裝置可自動啟動報(bào)警。

4、氣體壓力穩(wěn)定

系統(tǒng)采用兩級減壓(一級由供氣控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)，二級由使用點(diǎn)的控制閥調(diào)節(jié))方式供氣，可得到非常穩(wěn)定的壓力。

5、率

通過供氣控制系統(tǒng)，可充分使用鋼瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本。

6、操作簡便

所有氣瓶均集中在同一位置，減少了搬運(yùn)安裝等操作，更節(jié)約時(shí)間及成本費(fèi)用。

7、減少氣瓶的租金

采用中央供氣系統(tǒng)，可減少對氣瓶數(shù)量的要求，從而節(jié)省氣瓶的租用和購買成本。

8、減少分子篩損耗

控制氣體純度可有效地減少數(shù)派對分子篩的使用量(節(jié)約成本)。

9、無氣瓶在實(shí)驗(yàn)室中

采用中央供氣系統(tǒng)意味著實(shí)驗(yàn)室中沒有氣瓶裝備，有如下好處：

---提高安全性。氣瓶可能倒地而導(dǎo)致?lián)p壞或傷害。

---提高安全感。氣瓶可能導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)等危險(xiǎn)情況。

---節(jié)省空間。從實(shí)驗(yàn)室移走氣瓶可空出更多的實(shí)驗(yàn)空間。

10、其它好處

---降低控制閥的損壞和丟失率。

---縮短氣閥與儀器間的連接管路的長度，更為方便

工業(yè)氣體到底用在什么地方？

工業(yè)氣體是指氧、氮、Ar、Ne、氦、Kr、氙、氫、二氧化碳、乙i炔、天i然氣等。由于這些氣體具有固有的物理和化學(xué)特性，因此在國民經(jīng)濟(jì)中占有舉足輕重的地位，推廣應(yīng)用速度非?？欤瑤缀鯘B透到各行各業(yè)。

工業(yè)氣體用量多的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)有：煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產(chǎn)、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等石油化學(xué)工業(yè)、機(jī)械工業(yè)中的焊接，金屬熱處理、氦扦漏等，浮法玻璃生產(chǎn)等。由于這些傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)在近幾年發(fā)展迅速，工業(yè)氣體的用量也達(dá)到高峰。氣體管道安裝在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)領(lǐng)域中，實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的規(guī)劃設(shè)計(jì)是相當(dāng)重要的。

工業(yè)氣體用量正在掘起的產(chǎn)業(yè)有：煤礦滅火、石油開采、煤氣化和煤液化，玻璃熔化爐、水泥生產(chǎn)窯、耐火材料生產(chǎn)窯，磚瓦窯等工業(yè)爐窯、食品速凍，食品氣調(diào)包裝、啤酒保鮮、光學(xué)、國i防工業(yè)中的燃料、超導(dǎo)材料生產(chǎn)、電子、半導(dǎo)體、光纖生產(chǎn)、農(nóng)業(yè)、畜牧業(yè)、魚業(yè)、廢水處理、漂白紙漿、垃圾焚燒、粉碎廢舊輪胎等環(huán)保產(chǎn)業(yè)、建筑、氣象、文化、文i物保護(hù)、體育運(yùn)動、公i安破案、醫(yī)i療保健產(chǎn)業(yè)中的冷刀、重危病i人吸氧、高壓氧冶療、人體器管低溫冷藏、麻i醉技術(shù)及氧吧等。即使是干燥的氯i化氫和氯i氣，高濃度時(shí)也不能儲存在鋁合金氣瓶中。

工業(yè)氣體應(yīng)用正在試驗(yàn)中的產(chǎn)業(yè)有：固體氮生產(chǎn)，燃料電池生產(chǎn)，磁性材料生產(chǎn)，超細(xì)加工，天然i氣發(fā)電，壓縮天i然氣汽車，氫能汽車生產(chǎn)等。

工業(yè)氣體用量較多的產(chǎn)業(yè)，如鋼鐵、化肥、化工、玻璃及化纖行業(yè)均自建氣體生產(chǎn)設(shè)備，實(shí)行自產(chǎn)自銷的企業(yè)經(jīng)營方針，一些工業(yè)氣體用量較少的產(chǎn)業(yè)，主要依靠市場購買工業(yè)氣體。因此工業(yè)氣體的液體市場正在掘起，應(yīng)用領(lǐng)域也越來越廣泛。