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所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。3、設置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對位置及與廠內(nèi)其它廠房設施之間的相對位置,適用于遠離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風側,并有一定防護距離的原則。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉費用。風機濾網(wǎng)機組FFU:,采用離心風機,內(nèi)部凈化級別可達100-100K級。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
簡易無塵室是一種可提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設備。簡易無塵室主要由箱體、風機、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成,外殼噴塑。
產(chǎn)品配制
1.框架:以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架穩(wěn)固、美觀、不生銹、不產(chǎn)塵;
2.防靜電垂簾:四周圍用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化;
3.風機濾網(wǎng)機組FFU:,采用離心風機,內(nèi)部凈化級別可達100-100K級;
4.內(nèi)部采用凈化室凈化燈,不產(chǎn)塵;