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空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,凈化級別越高)。一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點,應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。
無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素,一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區(qū)域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉(zhuǎn)成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以適當?shù)娘L速供應,以達到適當?shù)娘L速供應以達到經(jīng)濟性效果。另一方面欲達到無塵室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,(21世紀80、90年代)一般無塵室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。無塵室的缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制無塵室程產(chǎn)品。
潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑膠底,布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可,鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂(Vinyl),在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用,手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用,原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。(清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示)無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在潔凈室內(nèi)進行,并以純水配合清潔溶劑,并經(jīng)約0.2μm過濾器為之,一般洗滌周期視清潔度等級而定,在高潔凈區(qū)為2~3天,其他區(qū)域則為5天~1星期,洗滌完畢干燥后應立即密封。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99。洗滌衣置放場所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。