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一六儀器 專業(yè)測厚儀 多道脈沖分析采集,先進EFP算法  X射線熒光鍍層測厚儀

應(yīng)用于電子元器件,LED和照明,家用電器,通訊,汽車電子領(lǐng)域.EFP算法結(jié)合精準定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題

軟件算法

?大致分為3個方法。一個是制作測量線的方法（經(jīng)驗系數(shù)法）。這個方法是測定幾點實際的已知厚度樣品，尋求想測定元素的熒光X射線強度和厚度之間的關(guān)系，以其結(jié)果為基礎(chǔ)測定未知樣品取得熒光X射線，從而得到濃度值。

?另一個方法是理論演算的基礎(chǔ)參數(shù)法（FP法）。這個方法在完全了解樣品的構(gòu)成和元素種類前提，利用計算的各個熒光X射線強度的理論值，推測測定得到未知樣品各個元素的熒光X射線強度的組成一致。

?NBS-GSC法也稱作理論Alpha系數(shù)法。它是基于熒光X射線激發(fā)的基本原理，從理論上使用基本物理參數(shù)計算出樣品中每個元素的一次和二次特征X射線熒光強度的?；诖嗽儆嬎鉒achance綜合校正系數(shù)，然后使用這些理論α系數(shù)去校正元素間的吸收增強。它與經(jīng)驗系數(shù)法不同，這些校正系數(shù)是從“理論”上取得的，而非建立在“經(jīng)驗”上。江蘇一六儀器X射線熒光光譜測厚儀一次性同時分析：23層鍍層，24種元素厚度最di檢出限：0。因而它也不需要那么多的標樣，只要少數(shù)標樣來校準儀器因子。

這些方法中前五種是有損檢測，測量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗。X射線和β射線法是無接觸無損測量，但裝置復(fù)雜昂貴，測量范圍較小。因有源，使用者必須遵守射線防護規(guī)范。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)、色散、探測、記錄及數(shù)據(jù)處理等單元組成。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測厚時采用。

隨著技術(shù)的日益進步，特別是近年來引入微機技術(shù)后，采用磁性法和渦流法的測厚儀向微型、智能、多功能、、實用化的方向進了一步。測量的分辨率已達0.1微米，精度可達到1%，有了大幅度的提高。它適用范圍廣，量程寬、操作簡便且價廉，是工業(yè)和科研使用廣泛的測厚儀器。采用無損方法既不破壞覆層也不破壞基材，檢測速度快，能使大量的檢測工作經(jīng)濟地進行。江蘇一六儀器X射線熒光光譜儀XTU/X-RAY系列技術(shù)參數(shù)X射線裝置：W靶微聚焦加強型射線管準直器φ0。

江蘇一六儀器    X熒光光譜測厚儀

下照式設(shè)計：可以快速方便地定位對焦樣品。

  無損變焦檢測:可對各種異形凹槽進行無損檢測，凹槽深度范圍0-90mm。

  微聚焦射線裝置：可檢測面積小于0.002mm2的樣品，可測試各微小的部件。

  接收：即使測試0.01mm2以下的樣品，幾秒鐘也能達到穩(wěn)定性。

  精密微型滑軌：快速精準定位樣品。

  EFP先進算法軟件：多層多元素，甚至有同種元素在不同層也難不倒EFP算法軟件。

江蘇一六儀器   X熒光鍍層測厚儀  一六儀器、一liu品質(zhì)!各種涂鍍層、膜層的檢測難題歡迎咨詢聯(lián)系！

1X射線激發(fā)系統(tǒng)垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng)空冷式微聚焦型X射線管，Be窗標準靶材:Rh靶;任選靶材:W、Mo、Ag等功率:50W(4-50kV，0-1.0mA)-標準75W(4-50kV，0-1.5mA)-任選X射線管功率可編程控制裝備有安全防射線光閘

2濾光片程控交換系統(tǒng)根據(jù)靶材，標準裝備有相應(yīng)的一次X射線濾光片系統(tǒng)二次X射線濾光片:3個位置程控交換，Co、Ni、Fe、V等多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選位置傳感器保護裝置，防止樣品碰創(chuàng)探測器窗口

3準直器程控交換系統(tǒng)多可同時裝配6種規(guī)格的準直器，程序交換控制多種規(guī)格尺寸準直器任選:-圓形，如4、6、8、12、20mil等-矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等

4測量斑點尺寸在12.7mm聚焦距離時，測量斑點尺寸小至為:0.078x0.055mm(使用0.025x0.05mm準直器)在12.7mm聚焦距離時，測量斑點尺寸大至為:0.38x0.42mm(使用0.3mm準直器)

5X射線探測系統(tǒng)封氣正比計數(shù)器裝備有峰漂移自動校正功能的高速信號處理電路

6樣品室CMI900CMI950-樣品室結(jié)構(gòu)開槽式樣品室開閉式樣品室-樣品臺尺寸610mmx610mm300mmx300mm-XY軸程控移動范圍標準:152.4x177.8mm任選:50.8mmx152.4mm50.4mmx177.8mm101.6x177.8mm177.8x177.8mm610mmx610mm300mmx300mm-Z軸程控移動高度43.18mmXYZ程控時，152.4mmXY軸手動時，269.2mm-XYZ三軸控制方式多種控制方式任選:XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動控制