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發(fā)布時(shí)間:2020-08-19 20:49  






24um線性膨脹,所以必須有±0。1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

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對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求:

  1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。

  2、吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0。2m/s。

  在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的

  垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s

  水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s






    無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。在制藥和生物工學(xué)工業(yè),無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過(guò)性的病毒或細(xì)菌的污染之特性。在biotech市場(chǎng),清洗真正地是一個(gè)很重要的企業(yè)。






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