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現(xiàn)在各個氣體制造廠家都會以工程技術(shù)為中心并緊抓安全生產(chǎn),保證質(zhì)量的同時培養(yǎng)工作也不會放松。尤其對于大學(xué)生,不僅要學(xué)會充標(biāo)準(zhǔn)氣體,處理氣瓶,還要承擔(dān)生產(chǎn)任務(wù),所以再次過程匯總所培養(yǎng)的人才就顯得非常重要。
標(biāo)準(zhǔn)氣體指出,近經(jīng)常有報廢瓶被收回的情況發(fā)生,有的無任何標(biāo)識標(biāo)準(zhǔn)氣體氣瓶,上面的有毒腐蝕性的標(biāo)貼還在,還有電子氣體部門的有毒氣體空瓶,也有同行單位的氣瓶,內(nèi)裝不明有毒腐蝕性氣體,出于安全角度考慮,我們不能擅自處理,只能作為報廢瓶擱置,這樣的氣瓶占用對標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家來說是非常大的浪費。
2010-2017年石油加工及煉焦業(yè)城鎮(zhèn)固定資產(chǎn)投資總額變化情況(單位:億元,%)
2 冶金工業(yè)總體保持增長 特種氣體需求進一步擴大
2011-2016年,常用有色金屬冶煉行業(yè)市場規(guī)??傮w呈增長趨勢,根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2018-2023年中國特種氣體行業(yè)產(chǎn)銷需求與投資預(yù)測分析報告》初步估算,2017年超過22000億元,對特種氣體的需求進一步擴大。
2011-2017年常用有色金屬冶煉行業(yè)市場規(guī)模變化(單位:億元,%)
半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體的分類
在高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中的半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,需要使用到很多高純氣體,這是普通氣體的提純,具體可以分為以下幾類:
特種氣體:sih4、ph3、b2h6、a8h3、cl、hcl、cf4、nh3、pocl3、sih2cl2、sihcl3、nh3、bcl3、sif4、clf3、co、c2f6、n2o、f2、hf、hbr、sf6等,以及它們與氮、氬、氫、氦的混合氣體等,若以上述半導(dǎo)體使用時危險性的分類,可分為:
一、可燃、自燃、可燃氣體,在空氣等助燃氣體中點火就會燃燒,可燃、氣體都有一定的火燃燒范圍,此范圍越大的氣體則危險越高,屬于此類氣體如:h2、nh3、sif4、ph3、2h6、clf3、sih2cl2、sihcl3等;
二、有毒氣體,半導(dǎo)體氣體很多是對人體有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等;
三、助燃氣體,這些高純氣體自身不能燃燒,但若與可燃物、可燃氣體接觸,將幫助燃燒,應(yīng)在儲運使用中們加注意,如o2n2of2hf等窒息性氣體;
四、還有氣體性質(zhì)穩(wěn)定,也無毒性,但當(dāng)它們排放在不通風(fēng)的場所時,空氣中氧含量降到18%以下時,因缺氧會使人呼吸困難,若不能及時解救也會有危險甚至,這類氣體有氮氣、氬氣二氧化碳、氦氣等。
五、腐蝕性氣體,通常遇水就顯示其腐蝕性,如hcl、pocl3、hf等。許多氣體同時兼有多種性質(zhì),在這些氣體輸送、儲運、使用中應(yīng)予重視。
半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體不僅種類多,而且更重要的是對氣體品質(zhì)在很嚴(yán)格的要求。