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深圳高真空電子束鍍膜機(jī)價(jià)格服務(wù)至上 沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)

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發(fā)布時(shí)間:2020-07-25 11:28  






電子束結(jié)構(gòu)介紹

粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類比。顯像管中的電子槍對(duì)應(yīng)于增速器的電子槍或離子源,顯像管中加速電子用的高壓電極對(duì)應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運(yùn)動(dòng)的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈,對(duì)應(yīng)于增速器中控制粒子運(yùn)動(dòng)軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件,如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。采用晶振膜厚儀如需了解更多電子束產(chǎn)品的相關(guān)信息,歡迎關(guān)注沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司網(wǎng)站或撥打圖片上的熱點(diǎn)電話,我司會(huì)為您提供專業(yè)、周到的服務(wù)。對(duì)粒子增速器的粒子運(yùn)行管道來(lái)說,為了減少粒子在運(yùn)動(dòng)中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞,所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬(wàn)倍。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,根據(jù)科學(xué)家對(duì)粒子能量和流強(qiáng)的不同要求,陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。

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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)各部件介紹

1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度:室溫-150℃。(在10-4Pa時(shí),真空室內(nèi)殘余氣體的組合,水蒸汽約占 90%以上,因此在該壓強(qiáng)下進(jìn)行蒸鍍,實(shí)際上相當(dāng)于在水蒸汽中制膜,為了減少水份,提高真空室溫,使水分解,是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法)。

2、電控柜:標(biāo)準(zhǔn)電控柜,組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制(分子泵、機(jī)械泵電源、擋板等)、數(shù)顯真空計(jì)等。柜底下配腳輪,方便移動(dòng)、定位。

3、手動(dòng)按鈕式操作,備留機(jī)電轉(zhuǎn)換及控制接口,方便實(shí)驗(yàn)記錄.

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電子束鍍膜屬于蒸鍍還是濺射?

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1.蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍以及離子鍍都是物理氣相沉積(PVD)的工藝方法。

2.蒸發(fā)鍍主要包括:電阻加熱蒸發(fā)、感應(yīng)加熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、激光加熱蒸發(fā)、離子束蒸鍍等。

3.您所說的E型槍鍍膜和直型電子槍鍍膜都是屬于熱蒸發(fā)鍍膜的范疇。

4.S槍濺射實(shí)際就是錐形磁控濺射靶,陰極靶材為環(huán)狀錐形,安裝在水冷座上。環(huán)狀磁鋼套在靶材外邊形成曲線磁場(chǎng),其平行靶面的磁場(chǎng)分量和垂直于靶面的電場(chǎng)分量形成正交電磁場(chǎng)。電子束被約束在靶面附近運(yùn)動(dòng),電子流密度很大,在靶面附近產(chǎn)生很強(qiáng)的非彈性碰撞,電離幾率很大,形成很強(qiáng)的等離子體。與傳統(tǒng)蒸鍍方式不同,電子束蒸鍍利用電磁場(chǎng)的配合可以精準(zhǔn)地實(shí)現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)靶材,使之融化進(jìn)而沉積在基片上。



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