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超精密零件加工方法的特點(diǎn)：對(duì)外表層物質(zhì)去除或添加的量能夠作極細(xì)微的控制。一般在高于或低于常溫狀態(tài)的加工﹐會(huì)引起工件的化學(xué)或物相變化﹐稱熱加工。但是要獲得超精密零件加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備和準(zhǔn)確的克制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版即使采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版必要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

制定零件加工工藝的主要內(nèi)容與步驟

(1)確定毛坯的種類。毛坯種類應(yīng)根據(jù)零件的材料、形狀、尺寸放工件數(shù)量來確定。

(2)確定零件的加工順序。零件加工順序應(yīng)根據(jù)尺寸精度、表面粗糙度和熱處理等全部技術(shù)要求以及毛坯的種類和結(jié)構(gòu)、尺寸來確定。

(3)確定工藝方法及加工余量。即確定每一工序所用的機(jī)床、工件裝夾方法、加工方法、測量方法及加工尺寸（包括為下道工序所留的加工余量）。

單件小批量生產(chǎn)中、小型零件的加工余量，可按下列數(shù)值選用（對(duì)內(nèi)外柱面及平面均指單邊余量）。毛坯尺寸大的，取大值；反之，取小值。

總余量：手工造型鑄件約3—6 mm；自由鍛件約3.5～7 mm；圓鋼料約1.5-2.5 mm。

工序余量：半精車約0.8～1.5 mm；高速精車約0.4～0.5 mm；低速精車約0.1—0.3 mm；磨削約0.15-0.25 mm。

機(jī)械零件加工是一種用加工機(jī)械對(duì)零件工件的外形尺寸或性能進(jìn)行改變的過程。按被加工的零件工件處于的溫度狀態(tài)﹐分為冷加工和熱加工。這些表面不是零件上的工作表面，只是為滿足工藝需要而在工件上專門設(shè)計(jì)的定位基準(zhǔn)稱為輔助基準(zhǔn)。一般在常溫下加工，并且不引起零件工件的化學(xué)或物相變化﹐稱冷加工。一般在高于或低于常溫狀態(tài)的加工﹐會(huì)引起零件工件的化學(xué)或物相變化﹐稱熱加工。冷加工按加工方式的差別可分為切削加工和壓力加工。熱加工常見有熱處理﹐煅造﹐鑄造和焊接。另外裝配時(shí)經(jīng)常要用到冷熱處理。例如：軸承在裝配時(shí)往往將內(nèi)圈放入液氮里冷卻使其尺寸收縮，將外圈適當(dāng)加熱使其尺寸放大，然后再將其裝配在一起?；疖嚨能囕喭馊σ彩怯眉訜岬姆椒▽⑵涮自诨w上，冷卻時(shí)即可保證其結(jié)合的牢固性。