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無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其無塵室等級為Class1~100。
若能徹底實施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護距離。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進行除電。
無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。
無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。至于珠寶首飾,工作人員可以戴結(jié)婚和訂婚戒指,但不要戴有尖角或者邊沿鋒利的戒指,因為它們可能會刺穿手套或者衣服。
對于穿著的潔凈服,建議每周更換一到兩次,或者只要衣服一臟就立即更換。各家公司在這個程序上的規(guī)定也不一樣。必須時刻遵守著裝程序。衣服不得與地板接觸。與地板接觸會污染衣服。如果需要戴手套,必須使用潔凈室專用的無粉乳膠手套或者膠手套。因為有的人對乳膠中的蛋白質(zhì)過敏,如果因使用了無粉乳膠手套而造成手部出現(xiàn)紅點,建議改用膠手套。風(fēng)速測量的目的,是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范,其次是確認氣流的均勻度。一旦手套褪色或者有破洞必須馬上更換,但不能在潔凈室里更換,只能在更衣室里更換手套。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套,應(yīng)該慢慢地把手套從手上退下來。