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旋片真空泵
深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。中國真空設備制造產業(yè)發(fā)展與當前經濟熱點問題關聯度如何……諸如此類,都是真空設備制造產業(yè)發(fā)展必須面對和解決的問題--中國真空設備制造產業(yè)發(fā)展已到了岔口。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。
真空箱檢漏設備真空箱檢漏設備
⑴真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。⑵了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。⑶真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對ya有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。由于這種泵數量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。⑹正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。⑺真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。⑻真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,hao能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。
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真空泵
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深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。抽氣速率在一定的壓強和溫度下,單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。
真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。真空度單位通常用托(Torr)為單位,國際上取用帕(Pa)作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米柱托與帕的轉換1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托平均自由程作無規(guī)則熱運動的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。流量單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。流導表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。極限真空真空容器經充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。符號記作“U”。 U=Q/(p2減p1)壓力或壓強氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。標準大氣壓壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。極限真空真空容器經充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣,再經12小時抽真空,后一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。抽氣速率在一定的壓強和溫度下,單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)冷阱(水冷擋板)置于真空容器和泵之間,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。氣鎮(zhèn)閥油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔,并裝上調節(jié)閥,當打開閥并調節(jié)入氣量,轉子轉到某一位置,空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。真空冷凍干燥真空冷凍干燥,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。真空蒸鍍在真空環(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。真空干燥利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。真空系統(tǒng)常用名稱①主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。②前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。③粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
真空設備檢漏
深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。
一個真空系統(tǒng),經相當長時間抽氣之后,仍然達不到預期的真空度,可能的原因有:抽氣情況不良,即抽氣系統(tǒng)本身的問題。放氣,即真空系統(tǒng)或容器內部存在氣體或氣源。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。漏氣,即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術所要解決的問題,即準確檢出漏孔并加以修補。常規(guī)檢漏內容包括:用適當的方法判斷真空系統(tǒng)中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位,以便修補堵漏。
真空設備檢漏
深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。
如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣,通常采用靜態(tài)升壓法,即把容器抽到一定壓強后,關閉閥門將被抽容器與泵隔開,若容器漏氣或材料放氣,容器中的壓強將隨時間而上升。其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強,可得出壓強/時間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同,其曲線也不同
1.直線A
壓強不隨時間變化,說明系統(tǒng)即不漏氣,也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強期初上升很快,而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡,這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低,故曲線漸趨向于平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。
4.曲線D
開始壓強上升較快,而后漸漸減慢,后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認為是B和C的疊加。如果出現曲線C和D的情況,則判定系統(tǒng)有漏氣。