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相對濕度在35%-40%之間能夠作為一個令人滿意的折中,半導體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學反響的速度,包含腐蝕的進程,將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時,高濕度能夠使反響加速。幸運的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構成一層維護形的氧化物,并阻止進一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護才能的,因而,在高濕度的環(huán)境中,銅制外表更容易遭到腐蝕。
無塵室車間全體凈化:無塵室可分為層流型和亂流型。層流無塵室是指空氣由一側全部地以同速流向另一側,使室內發(fā)作的塵粒或細菌不會向附近渙散而被平推出室外或許通過回風口過濾器過濾處理,而到達好的chu菌效果,該方法對比合適用于高潔凈度等級請求的職業(yè)無塵室。亂流無塵室是指空氣由無塵室頂部通過組合式空調機組初中效過濾器過濾,加壓由通過保溫的風管渙散送到各個房間,終通過送風口送入無塵室內,以到達凈化的效果,該送風方法對比常見,回風通常做在旮旯或許立柱的底部,全體回風;無塵室的送風體系少不了各種空氣過濾器的嚴格控制,下面為我們簡略介紹一下過濾器HAPE。