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從光刻機(jī)還是蝕刻機(jī),至少可以看得出來(lái)國(guó)產(chǎn)芯片已經(jīng)取得了非常大的成就。
中微半導(dǎo)體7nm蝕刻機(jī)的量產(chǎn),直接邁入世界行列,5nm蝕刻機(jī)也在實(shí)驗(yàn)階段。而光刻機(jī)方面已邁入22納米。
我們也相信如果光刻機(jī)與蝕刻機(jī)紛紛取得進(jìn)展,也將成為如果挑戰(zhàn)臺(tái)積電、三星、英特爾背后大霸主的有力籌碼。至少“科技自立”下,實(shí)現(xiàn)芯片研發(fā)國(guó)產(chǎn)化、加工制造本土化。那個(gè)時(shí)候,將會(huì)造福諸如華為、小米、OV等國(guó)產(chǎn)手機(jī)。
因此,蝕刻部位的金屬不斷地溶解并在金屬的表面留下當(dāng)量電子,其反應(yīng)式
如下:
式中 M-蝕刻金屬的原子;
ne—溶解金屬留下的當(dāng)量電子數(shù);
M ne—失去ne個(gè)電子的金屬離子,未水合化;
M ne.xH20—進(jìn)入電解液的金屬水合離子。
陰極上的反應(yīng)是電解溶液中的還原性物質(zhì)如氫離子、氧分子或金屬正離子等在陰極上得到電子,還原成氫氣析出或生成氫氧根負(fù)離子或金屬沉積物附著在陰極上,因此陰極反應(yīng)是各種還原反應(yīng)的結(jié)果。其電極反應(yīng)如下:2H 2e→H2↑2H20 02 4e→40H-M ne ne→M↓
從上可以看到,電解蝕刻主要是利用電流加快蝕刻部位金屬的溶解,而不是化學(xué)蝕刻那樣要加入各種添加劑,特別是催速劑。在某種條件下還可能一面將蝕刻的金屬溶解,另一方面又能將溶解的金屬在陰極上沉積而回收。從示意圖6—7上可以看到電解蝕刻需要有專用的電解設(shè)備、電源系統(tǒng)及配電設(shè)施,在實(shí)際操作時(shí),還要有掛具和裝卸作業(yè)等。
水平蝕刻機(jī)的設(shè)計(jì),應(yīng)充份考慮到金屬產(chǎn)品的厚度,是半蝕刻多還是蝕穿的產(chǎn)品多。產(chǎn)品越薄,對(duì)蝕刻的要求也就越高,特別是厚度低于0.2mm以下的產(chǎn)品,由于板材比較薄,雖然是金屬,但還是表現(xiàn)出比較柔軟,容易出來(lái)卡板、變形等現(xiàn)像。因此在規(guī)劃設(shè)備時(shí),要預(yù)估我們重點(diǎn)是做薄片還是厚片,要薄片比較多,那么傳動(dòng)滾輪要比較密一點(diǎn),而且上下滾輪數(shù)量必須對(duì)等。
作為一臺(tái)精密蝕刻的蝕刻機(jī),其核心就是噴淋泵,特別是不銹鋼蝕刻,若噴淋泵的壓力小于2.5kg/cm2,蝕刻液對(duì)不銹鋼表面作用所產(chǎn)生的黑膜將無(wú)法完全清除,導(dǎo)致的結(jié)果就是蝕刻速度慢,半蝕刻蝕刻底紋表面不夠光滑細(xì)膩,出現(xiàn)隨機(jī)粗糙,幾乎沒(méi)有規(guī)律可尋。
硬烘、刻蝕等工序,Photolithography(光刻)意思是用光來(lái)制造一個(gè)圖形。(工藝);在硅片外表勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光,刻膠上的將器件或電路結(jié)構(gòu)暫時(shí)“”到硅片上的過(guò),程。光刻的目的,使表有疏水性,增強(qiáng)基底外表與光刻膠的黏附性,丈量臺(tái)、臺(tái)承載硅片的作業(yè)臺(tái)。也便是本次所說(shuō)。的雙作業(yè)臺(tái),光束糾正器糾正光束入射方向,讓激光束盡量平行,能量操控器操控終照硅片上的能量,缺少,或過(guò)足都會(huì)嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。光束形狀設(shè)置設(shè)置光束為圓型、環(huán)型等不同形狀,同的光束狀況有不同的光學(xué)特性。遮光器在不需求的時(shí)分。
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