真空箱氦檢漏系統(tǒng)生產(chǎn)廠家好貨源好價格「博為光電」

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發(fā)布時間：2021-10-27 02:24

雙工位氦檢漏系統(tǒng)構成

（1）粗抽機組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個大氣壓到千帕級真空，并為后續(xù)精抽真空作準備。

（2）精抽機組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5Pa左右。

（3）檢漏儀：是檢漏系統(tǒng)中的部件，檢漏儀執(zhí)行檢漏工作時，給出工件泄露量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號。

（4）耐壓測試單元：通過向工件內(nèi)充注高壓氣體，一方面測試工件的耐壓性能。另一方面通過平衡、保壓過程，有傳感器感測壓力差，并由控制系統(tǒng)經(jīng)過計算分析判斷是否有大漏。

（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環(huán)過程中氦氣的純度，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內(nèi)的空氣。

不同真空范圍內(nèi)的抽氣時間計算

高真空-超高真空領域的抽氣時間計算

這里所指的高真空至超高真空領域，是指真空度在0.2Pa以下，對于高真空領域，要充分考慮容器壁以及容器內(nèi)物體的氣體放出，因此，抽氣時間和抽氣速度的計算方法和低真空領域不同。

p(t)———到達壓強；

Se———實際抽氣速度；

Ql———腔體漏氣量；

Qg(t)———腔體內(nèi)部放出氣體量；

p0———初期壓強。

氣體的放出量Qg(t)隨著時間t而減少。計算開始時，假定一個抽氣時間，根據(jù)當時的放氣量來求得到達的真空度。如果計算結果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時間，根據(jù)新假設時間的氣體放出量再次計算。不斷重復，終讓p(t)在所需的真空范圍內(nèi)。

高真空領域的抽氣時間計算遠比低真空領域復雜。真空腔體的內(nèi)表面經(jīng)過酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達的真空度也會更高一些。

真空腔體內(nèi)的部件形狀和材質(zhì)也極大地影響到達的真空度和抽氣時間。如果使用了樹脂類材料，則到達的真空度會比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個數(shù)量級。內(nèi)部使用螺釘時，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時間緩慢放出。為了加速螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側面開一個出氣孔。因此，內(nèi)部構造越復雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設計上就更需要經(jīng)驗。

不銹鋼焊接中存在的問題

不銹鋼材料的耐腐蝕的性能和耐高、低溫應用的性能都是很好的，但是經(jīng)過焊接后的不銹鋼焊縫及其熱影響區(qū)的情況就大為不同了，它存在著裂紋、氣孔、脆化、晶粒粗大的現(xiàn)象。因此，在制造超高真空和一般的高真空容器時，必須十分重視這個問題。

奧氏體不銹鋼在焊接中及焊接后存在的問題主要有:

(1)焊縫中的熱裂縫。奧氏體不銹鋼焊接工藝中應該注意的問題是焊縫金屬的熱裂縫(圖3-3)，在焊接熱影響區(qū)的晶界上析出鉻的碳化物以及產(chǎn)生焊接應力。

真空系統(tǒng)設計（不銹鋼超高真空容器的焊接）

(a)焊縫中的縱向裂縫; (b)焊縫中的橫向裂縫; (c)焊縫中弧坑裂縫;(d)熱影響區(qū)內(nèi)的橫向裂縫; (e) 熱影響區(qū)內(nèi)的縱向裂縫

熱裂縫也稱為結晶裂縫，是在焊接熔池的一次結晶過程中，當焊縫金屬處于固-液體狀態(tài)時形成的，它們是由于相鄰的晶體沿晶間夾層被分開的結果。