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氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺(tái)導(dǎo)軌面變形較小，可以達(dá)到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機(jī)床和測量儀器等設(shè)備的長導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負(fù)荷變化小的場合。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺(tái)重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時(shí)，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(dòng)(動(dòng)壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動(dòng)導(dǎo)軌，因滾動(dòng)體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項(xiàng)精度指標(biāo)中比較重要的兩項(xiàng)。

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氣體靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離，當(dāng)壓縮空氣靜壓導(dǎo)軌和支撐表面之間的空隙中排出時(shí)就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺(tái)浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生氣體摩擦?？傊?，開式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度降低，而負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤滑作用。

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空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)測量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時(shí)容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。氣浮滑動(dòng)工作臺(tái)上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學(xué)附件及標(biāo)準(zhǔn)裝置。

空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理空氣靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和承載部件通過氣膜相互隔離，氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導(dǎo)面之間的空隙排放出來的。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。光波超精密——超精密氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家氣浮導(dǎo)軌其優(yōu)點(diǎn)是消音能力好，荷載高，能滿足這兩點(diǎn)要求的直直線導(dǎo)軌產(chǎn)品才算及格產(chǎn)品，否則，即使再貴也是名不副實(shí)的產(chǎn)品。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。

直線導(dǎo)軌常簡稱為導(dǎo)軌，它的作用是支承并引導(dǎo)運(yùn)動(dòng)部件沿給定軌跡和行程作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)軌由兩個(gè)相對運(yùn)動(dòng)的部件組成，一個(gè)部件固定在機(jī)架上，稱為定軌，另一個(gè)在定軌上移動(dòng)，稱為動(dòng)軌。導(dǎo)軌多用于需要作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的執(zhí)行器。導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)性能在低速時(shí)要求平穩(wěn)、無爬行、定位準(zhǔn)確，高速時(shí)要求慣量小、無超調(diào)或振蕩。導(dǎo)軌的精度、承載能力和壽命對系統(tǒng)的精度、承載能力和壽命有直接影響。導(dǎo)軌按軌面摩擦性質(zhì)可將導(dǎo)軌分為滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)導(dǎo)軌、液體靜壓導(dǎo)軌、氣浮導(dǎo)軌、磁浮導(dǎo)軌。因其空氣粘滯低、不易爬行、振動(dòng)小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)?；瑒?dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，剛性好，摩擦阻力大，連續(xù)運(yùn)行磨損快，制造中軌面刮研工序的要求很高。

滑軌的靜摩阻力系數(shù)和動(dòng)摩阻力系數(shù)相差很大，所以在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。滑軌常用于各種機(jī)床的工作臺(tái)或床身導(dǎo)軌，多為工作臺(tái)、滑臺(tái)、滑板、導(dǎo)靴、車頭支架等。軌道橫斷面有矩形，燕尾， V形，圓形等。在重型機(jī)械中，多個(gè)截面形狀經(jīng)常聯(lián)合使用，共同起著導(dǎo)向和支撐的作用。滾動(dòng)式導(dǎo)向是將滾動(dòng)式物體放置在運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件之間，例如滾珠、滾輪、滾針或滾動(dòng)軸承。3、主支撐采用專用調(diào)整工裝，氣浮支撐調(diào)整裝置，每根導(dǎo)軌3個(gè)，其余采用5個(gè)輔助千斤頂支撐。滾動(dòng)式導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是：不會(huì)給滑動(dòng)式導(dǎo)軌帶來1/10的摩擦系數(shù)，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較小，不易發(fā)生爬行現(xiàn)象，可用小功率電機(jī)拖曳，定位準(zhǔn)確，使用壽命長。

直線導(dǎo)軌的精度包括：1）行走平行度(動(dòng)態(tài)精度)。包括滑塊C面(上表面)相對滑軌A面(底面)的行走平行度，滑塊D面(滑塊側(cè)基準(zhǔn)面)相對滑軌B面(滑軌側(cè)基準(zhǔn)面)的行走平行度。2）幾何尺寸精度。包括高度H的尺寸容許誤差，高度H的成對相互差(△H)、寬度W2的尺寸容許誤差、寬度W2的成對相互誤差(△W2)。3、預(yù)壓等級的確定預(yù)壓力的大小決定了導(dǎo)軌的剛性大小，同時(shí)可以消除一定的滑塊徑向間隙，實(shí)驗(yàn)證明預(yù)壓的效果可以提高未預(yù)壓時(shí)直線導(dǎo)軌的剛性2。微細(xì)結(jié)構(gòu)的布局區(qū)域可以設(shè)置不同的構(gòu)型(如圖1所示)，微細(xì)結(jié)構(gòu)的尺寸、形狀、位置和分布密度對微細(xì)結(jié)構(gòu)的幾何參數(shù)進(jìn)行減阻特性研究。8倍。PMI的直線導(dǎo)軌預(yù)壓等級分為：輕預(yù)壓（FC），中預(yù)壓（F0），重預(yù)壓（F1），超重預(yù)壓（F2）四個(gè)等級。正確的選定直線導(dǎo)軌的預(yù)壓力對設(shè)備的剛性具有很大的影響。

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（1）在安裝前務(wù)必清除所要安裝機(jī)械安裝面上的毛刺、打擊i傷痕及污物注：因LM滾動(dòng)導(dǎo)軌上涂有防銹油，安裝前請用洗凈油將其擦拭干凈后再安裝。防銹油除掉后的基準(zhǔn)面容易生銹，推薦涂抹粘度低的主軸用潤滑油。（2）將LM軌道輕輕地放置與底座上后，不完全鎖緊裝配螺栓使LM軌道與安裝面輕輕的靠緊。（底座的橫向基準(zhǔn)面要與LM軌道有標(biāo)記線的一側(cè)對上。）請使用干凈的裝配螺栓來固定LM滾動(dòng)導(dǎo)軌。同時(shí)，再將裝配螺栓插入LM軌道的安裝孔時(shí)，要事先確認(rèn)螺栓孔是否吻合。如果孔不吻合而強(qiáng)行擰入螺栓，則會(huì)降低精度。氣浮塊4放置在工作臺(tái)6上，氣浮塊3安裝在氣浮塊4的中心和四角位置，氣浮塊3安裝在加速度傳感器2的位置，沖擊式導(dǎo)軌1和沖擊式導(dǎo)軌1分別與加速度傳感器保護(hù)盒5連接。（3）按順序?qū)M軌道的止動(dòng)螺絲擰緊，使軌道與橫向安裝面緊靠。（4）使用扭矩扳手，將裝配螺栓按規(guī)定的扭矩?cái)Q緊。注：LM軌道裝配螺栓的擰緊順序是，從中央位置開始向軸端部按順序擰緊，這樣可獲得穩(wěn)定的精度。（5）其余的LM軌道也按同樣的方法安裝，直到安裝全部完成。（6）將孔蓋打入裝配螺栓孔，直到與LM軌道的頂面為同一平面為止。