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普旭真空泵油的正確存放方式
真空泵要避免抽除溶劑、水蒸氣和有腐蝕性氣體等,用的時(shí)候一定要經(jīng)常檢查,經(jīng)常換油。
在更換真空泵油前應(yīng)該將真空泵體內(nèi)用過(guò)的舊油排放干凈,把新的真空泵油倒進(jìn)去前應(yīng)慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)泵軸,清掃泵腔排完舊油,重復(fù)清洗數(shù)次,等洗凈后再換入新油。
給真空泵加油的時(shí)候一定是專用的設(shè)備,不能是其他真空泵油用過(guò)的容器或者溶劑。
酯油和礦物油或者其他合成油在互換時(shí),要把真空泵拆開然后洗干凈。八、要是吸入化學(xué)氣體及溶劑,對(duì)真空泵油污染影響真空后,就一定要清洗換油。
對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)愛(ài)發(fā)科真空泵油來(lái)說(shuō),雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來(lái)防止返流,但不能徹l底解決問(wèn)題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。
愛(ài)發(fā)科真空泵油的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)l藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有l機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。
真空泵油的主要性能
真空泵油, 極限總壓強(qiáng)和的極限分壓力
極限的總壓力:皮拉尼真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)測(cè)量所有材料真空泵(氣)總壓強(qiáng)。目前,測(cè)試強(qiáng)調(diào)總壓強(qiáng)指數(shù)。
極限的分壓力:水星壓縮真空計(jì)(麥克勞德壓力計(jì))限制空氣測(cè)量泵壓力,雙旋轉(zhuǎn)葉片泵壓力應(yīng)小于6 * 10-5kPa。總壓強(qiáng)之間的區(qū)別和極限壓力不超過(guò)一個(gè)數(shù)量級(jí)。兩者之間的差異越大,真空泵油含有更多的揮發(fā)性成分,油的性質(zhì)就越低。