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真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。⑹正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。羅茨泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高l精度的齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步旋轉(zhuǎn)的。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。

旋片式真空泵是真空技術(shù)中很基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái)。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度

，主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。動(dòng)量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?

（4） 擴(kuò)散噴射泵：它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下，輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。

（1）蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。（2）濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來(lái)的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。但泵的重l心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵

水環(huán)真空泵原理與優(yōu)缺點(diǎn)分析

水環(huán)真空泵的原理：

　　泵體充滿(mǎn)適量的水作為工作流體。當(dāng)葉輪沿圖中所示方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪甩出。由于離心力的作用，水形成了一個(gè)厚度大致相等的閉合環(huán)，這是由泵室的形狀決定的。水環(huán)的上部正好與葉輪輪轂相切，而水環(huán)的下部正好與葉尖接觸(實(shí)際上，葉片有一定的穿透深度)。此時(shí)，在葉輪輪轂和水環(huán)，之間形成一個(gè)新月形空間，該空間被葉輪分成幾個(gè)葉片數(shù)量相等的小腔。如果葉輪的上部是0作為起點(diǎn)，當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)180之前，小腔的體積由小變大，并與端面上的吸入口連通。這時(shí)，氣體被吸入，當(dāng)吸入結(jié)束時(shí)，小腔從吸入口被阻塞。（1）分子真空泵：它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口連通時(shí)，氣體從泵中排出。