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磁控濺射鍍膜機(jī)

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真空鍍膜機(jī)利用這種濺射方法在基體上沉積薄膜是1877年問(wèn)世的。但是，利用這種方法沉積薄膜的初期存在著濺射速率低，成膜速度慢，并且必須在裝置上設(shè)置高壓和通入惰性氣體等一系列問(wèn)題。因此，發(fā)展緩慢險(xiǎn)些被淘汰。鍍膜設(shè)備原理及工藝前處理（清洗工序）要獲得結(jié)合牢固、致密、無(wú)針1孔缺陷的膜層,必須使膜層沉積在清潔、具有一定溫度甚至是的基片上。只是在化學(xué)活性強(qiáng)的金屬、難容金屬、介質(zhì)以及化合物等材料上得到了少量的應(yīng)用。直到20世紀(jì)70年代，由于磁控濺射及時(shí)的出現(xiàn)，才使濺射鍍膜得到了迅速的發(fā)展，開(kāi)始走入了復(fù)興的道路。這是因?yàn)榇趴貫R射法可以通過(guò)正交電磁場(chǎng)對(duì)電子的約束，增加了電子與氣體分子的碰撞概率，這樣不但降低了加在陰極上的電壓，而且提高了正離子對(duì)靶陰極的濺射速率，減少了電子轟擊基體的概率，從而降低了它的溫度，即具備了;高速、低溫的兩大特點(diǎn)。到了80年代，雖然他的出現(xiàn)僅僅十幾年間，它就從實(shí)驗(yàn)室中脫穎而出，真正地進(jìn)入了工業(yè)大生產(chǎn)的領(lǐng)域。而且，隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，近幾年來(lái)在濺射鍍膜領(lǐng)域中推出了離子束增強(qiáng)濺射，采用寬束強(qiáng)流離子源結(jié)合磁場(chǎng)調(diào)制，并與常規(guī)的二極濺射相結(jié)合組成了一種新的濺射模式。而且，又將中頻交流電源引入到磁控濺射的靶源中。這種被稱為孿生靶濺射的中頻交流磁控濺射技術(shù)，不但消除了陽(yáng)極的;消失;效應(yīng)。而且，也解決了陰極的問(wèn)題，從而極大地提高了磁控濺射的穩(wěn)定性。為化合物薄膜制備的工業(yè)化大生產(chǎn)提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。近年來(lái)急速鍍膜的復(fù)興與發(fā)展已經(jīng)作為人們炙手可熱的一種新興的薄膜制備技術(shù)而活躍在真空鍍膜的技術(shù)領(lǐng)域中。

濺射鍍膜機(jī)濺射鍍技術(shù)優(yōu)點(diǎn)

濺射鍍膜機(jī)濺射鍍技術(shù)應(yīng)用  蒸發(fā)和磁控濺射兩用立式裝飾鍍膜機(jī)，主要適用于塑料、陶瓷、玻璃金屬材料表面鍍制金屬化裝飾膜。鍍一層薄薄的膜加工工藝中的塑料薄膜薄厚勻稱性，堆積速度，靶材使用率等層面的難題是具體生產(chǎn)制造中非常關(guān)心的。由于鍍膜室為立式容器，所以它具有臥式鍍膜機(jī)的一切優(yōu)點(diǎn)，   又利于自重較大的、易碎的鍍件裝卡，更可方便地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)生產(chǎn)線，是替代傳統(tǒng)濕法水電鍍的更為理想的新一代真空鍍膜設(shè)備。本機(jī)鍍部分產(chǎn)品可不做底油。本機(jī)主 要特點(diǎn)配用改進(jìn)型高真空排氣系統(tǒng)，抽速快、、節(jié)電、降噪和延長(zhǎng)泵使用壽命;實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)、磁控濺射、自動(dòng)控制，操作簡(jiǎn)單，工作可靠。

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磁控濺射鍍膜機(jī)原理

由此可見(jiàn)，濺射過(guò)程即為入射離子通過(guò)一系列碰撞進(jìn)行能量交換的過(guò)程，入射離子轉(zhuǎn)移到逸出的濺射原子上的能量大約只有原來(lái)能量的1%，大部分能量則通過(guò)級(jí)聯(lián)碰撞而消耗在靶的表面層中，并轉(zhuǎn)化為晶格的振動(dòng)。服裝裝飾設(shè)計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域，例如各種各樣光的反射鍍一層薄薄的膜及其透明色鍍一層薄薄的膜，可可用在手機(jī)殼、電腦鼠標(biāo)等商品上。濺射原子大多數(shù)來(lái)自靶表面零點(diǎn)幾納米的淺表層，可以認(rèn)為靶材濺射時(shí)原子是從表面開(kāi)始剝離的。如果轟擊離子的能量不足，則只能使靶材表面的原子發(fā)生振動(dòng)而不產(chǎn)生濺射。如果轟擊離子能量很高時(shí)，濺射的原子數(shù)與轟擊離子數(shù)之比值將減小，這是因?yàn)檗Z擊離子能量過(guò)高而發(fā)生離子注入現(xiàn)象的緣故。

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目前國(guó)內(nèi)窗膜行業(yè)的批發(fā)商及終端店很多人都吃過(guò)磁控鍍銀膜氧化的虧，產(chǎn)品賣出后幾個(gè)月，開(kāi)始大面積氧化，需要賠償，甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問(wèn)題特別多，搞得很多人談磁控膜色變的地步。而在15、16年后，問(wèn)題得到解決。慢慢地就沒(méi)多少氧化問(wèn)題出現(xiàn)了。該方法的缺點(diǎn)是不能制備絕緣體膜，而且磁控電極中采用的不均勻磁場(chǎng)會(huì)使靶材產(chǎn)生顯著的不均勻刻蝕，導(dǎo)致靶材利用率低，一般僅為20%-30%。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜，一說(shuō)磁控膜就問(wèn)會(huì)不會(huì)氧化。其實(shí)大可不必?fù)?dān)心，大部分的側(cè)檔都不是銀的，請(qǐng)放心使用。且這兩年的技術(shù)進(jìn)步，國(guó)內(nèi)各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。其實(shí)在玻璃鍍膜行業(yè)，早就解決了氧化問(wèn)題，我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時(shí)內(nèi)合成中空，不然就會(huì)氧化。當(dāng)時(shí)low-e與中空都是鍍膜廠做的，下邊玻璃加工廠根本無(wú)法介入，而現(xiàn)在鍍膜廠只需生產(chǎn)玻璃鍍膜原片。且玻璃原片爆露在空氣中可達(dá)6個(gè)月以上，都不會(huì)氧化。這樣中空玻璃，一些門窗廠，幕墻公司、小規(guī)模的玻璃深加工工廠，都可以生產(chǎn)low-e中空玻璃了，加上政府政策的支持與引導(dǎo)，大大的加快了low-e玻璃的發(fā)展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應(yīng)多去看看玻璃行業(yè)的low-e鍍膜，多些交流。畢竟生產(chǎn)原理是一樣的東西，技術(shù)是相通的。很多東西是可以套用的，low-e鍍膜得到了規(guī)?；陌l(fā)展，技術(shù)工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的，如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發(fā)展，才是正道。就目前來(lái)說(shuō)，僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對(duì)抗，是不可能有成本上優(yōu)勢(shì)的。但都是鍍膜，如何做差異化，我目前也只是拋磚引玉，只有大家一起開(kāi)動(dòng)腦袋了。