1959年,Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設想。1962年一個硅微型壓力傳感器問世,其后開發(fā)出尺寸為50~500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯(lián)接件等微機械。1965年,斯坦福大學研制出硅腦電極探針,后來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研制出轉子直徑為60~12μm的利用硅微型靜電機,顯示出利用硅微加工工藝制造小可動結構并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力。


“精密機械設計基礎”是儀器儀表類專業(yè)重要的技術基礎課程,儀器科學與技術的不斷發(fā)展,對課程知識體系和人才知識結構都提出了新的要求。為了更好地適應儀器科學與技術類專業(yè)的教學要求,我們編寫了這本教材,供各院校精密機械設計類課程使用。
考慮到儀器儀表類各專業(yè)不同的人才培養(yǎng)特色和儀器儀表類專業(yè)機械類課程總學時普遍減少的情況,編者根據(jù)多年的教學經驗,對知識點進行了精心編排和必要的精簡取舍,突出精密機械特色,期望在學時少的條件下,幫助學生掌握相對系統(tǒng)實用的精密機械設計知識。


。 手工或機械拋光 手工或機械拋光是用涂有磨膏的拋光器,在一定的壓力下,與工件表面做相對運動,以實現(xiàn)對工件表面的光整加工。加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm,可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工。手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關。 超聲波拋光 超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動,通過磨料懸浮液對硬脆材料進行光整加工,超聲拋光 設備簡單,操作、維修方便,工具可用較軟的材料制作,而且不需作復雜的運動,主要用來加工硬脆材料,如不導電的非金屬材料,當加工導電的硬質金屬材料時,生產率較低。