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PVD涂層與傳統(tǒng)化學(xué)電鍍(水電鍍)之間的異同之處在于,PVD涂層與傳統(tǒng)化學(xué)電鍍之間的相似點(diǎn)和差異相似,兩者均屬于表面處理類別,一種材料以某種方式被另一種表面覆蓋。PVD涂層技術(shù)是當(dāng)前主要的應(yīng)用行業(yè),PVD涂層技術(shù)的應(yīng)用主要分為兩類:裝飾性涂層和工具涂層。電鍍工具的目的是提高工件的表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦因數(shù),并增加工件的使用壽命,這方面主要用于各種切削工具,車刀(例如車刀,刨床,銑刀),鉆頭等,各種五金工具(例如螺絲刀,鉗子等),各種模具和其他產(chǎn)品。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制
PVD涂層(離子涂層)技術(shù)的主要特征和優(yōu)點(diǎn)與真空蒸發(fā)涂層和真空濺射涂層相比,PVD離子涂層具有以下優(yōu)點(diǎn):1.薄膜層與工件表面具有很強(qiáng)的結(jié)合力,更耐用,更耐磨。2.成膜速度快,生產(chǎn)效率gao。3.各種各樣的可涂層。PVD技術(shù)的發(fā)展PVD技術(shù)出現(xiàn)于20世紀(jì)70年代后期,制備的薄膜具有硬度高,摩擦因數(shù)低,耐磨性好和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)。在高速鋼切削刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用引起了全球制造業(yè)的極大關(guān)注。在開發(fā)高xing能和高可靠性的涂層設(shè)備時(shí),他們還在硬質(zhì)合金和陶瓷切削刀具中進(jìn)行了更深入的涂層應(yīng)用研究。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制
因此,如果要防止蒸發(fā)粒子的大量散射,在真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備中,真空鍍膜室的起始真空度必須高于10-2Pa。由于殘余氣體在蒸鍍過程中對(duì)膜層的影響很大,因此分析真空室內(nèi)殘余氣體的來源,借以消除殘余氣體對(duì)薄膜質(zhì)量的影響是重要的。真空室中殘余氣體分子的來源主要是真空鍍膜室內(nèi)表面上的解吸放氣、蒸發(fā)源釋放的氣體、抽氣系統(tǒng)的返流以及設(shè)備的漏氣等原因所造成的。若鍍膜設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及制造良好,則真空抽氣系統(tǒng)的返流及設(shè)備的漏氣并不會(huì)造成嚴(yán)重的影響。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制
在信息存儲(chǔ)領(lǐng)域中薄膜材料作為信息記錄于存儲(chǔ)介質(zhì),有其得天獨(dú)厚的優(yōu)勢(shì):由于薄膜很薄,可以忽略渦流損耗;磁化反轉(zhuǎn)極為迅速;與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀態(tài)容易保持等。為了更精密地記錄與存儲(chǔ)信息,必然要采用鍍膜技術(shù)。13.在傳感器方面在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對(duì)于物理量、化學(xué)量及其變化來說,極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外,其中,大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì),需要盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低價(jià)格制作,因此,采用薄膜的情況很多。14.在集成電路制造中晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等,多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)??梢?,氣相沉積是制備集成電路的核心技術(shù)之一。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制