【廣告】
凈化車(chē)間共有五部分組成:
1、隔間
凈化車(chē)間隔間分為三大部分,更衣室,千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū),更衣室與千級(jí)區(qū),千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower),凈化車(chē)間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當(dāng)人員進(jìn)入凈化車(chē)間時(shí),首先要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室,對(duì)人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車(chē)間的灰塵.傳遞箱則是對(duì)物品灰塵進(jìn)行吹淋,達(dá)到落塵的效果。
2、風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖
系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱 FFU 系統(tǒng):
<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)
<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過(guò)濾器
千級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。
凈化車(chē)間煙控原理及設(shè)計(jì)方式
近幾年來(lái),在我國(guó)的新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)內(nèi)陸續(xù)發(fā)生了多次半導(dǎo)體廠房火災(zāi)事故,雖然所造成的人員傷亡不大,但對(duì)于財(cái)物的損失卻很可觀,其數(shù)目動(dòng)輒以數(shù)十億乃至百億元新臺(tái)幣計(jì)算,對(duì)業(yè)界所造成的損傷與危害可想而知。高溫濃煙才是造成財(cái)損的元兇,但由于土地取得不易,凈化車(chē)間廠房多向高樓層發(fā)展,高智慧的技術(shù)人力及昂貴的設(shè)備機(jī)臺(tái)集中在廠房?jī)?nèi),萬(wàn)一發(fā)生火災(zāi)意外,損失將數(shù)十倍于一般工廠。此外,高科技凈化車(chē)間廠房?jī)?nèi)使用許多的性與性氣體,例如SiH4、H2、PH3 等,更增加廠房?jī)?nèi)的潛在危險(xiǎn),若無(wú)適當(dāng)?shù)膶?duì)策與措施,因此,為了降低火災(zāi)發(fā)生時(shí)人員的傷亡與財(cái)物的損失,必須對(duì)建筑物進(jìn)行煙流控制,這一點(diǎn)新加坡已強(qiáng)制規(guī)定執(zhí)行,而在鄰近的日本、大陸或香港也有類(lèi)似煙流控制法規(guī),其目的都是在降低火災(zāi)發(fā)生時(shí),高溫?zé)熈鲗?duì)員工及設(shè)備污染的傷害。