凈化車間之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
壁板隔墻安裝要平整,板縫要垂直嚴密。吊頂的固定和吊掛件只能與主體結構相連,不能與設備和管線支架交叉混用。壁板和頂棚表面應光潔、平整,不起灰,不落塵,耐腐蝕,耐沖擊,易清洗。潔凈室內地面與墻面、墻面與墻面,墻面與頂棚間的陰陽角采R=50mm的鋁合金圓角,并用硅膠密封。R圓角安裝必須平直,接頭嚴密。所有密封窗、潔凈門及隔斷縫隙均需用硅膠密封。嚴格執(zhí)行國家頒布凈化裝修工程的施工驗收規(guī)范和質量評定標準,并做好各項隱蔽工程記錄,確保達到GMP驗收標準。
凈化車間(Clean Room),亦稱為凈化車間或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有凈化車間,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2 里面,凈化車間被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。凈化車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。潔凈室:溫度、濕度、壓力(壓差)、潔凈度、浮游菌、沉降菌受控的空間。兩者沒有本質的區(qū)別,但適用標準、等級有所差異。
所謂無塵車間指的是把室內空間中的有害物質、有害空氣等污染物排除在一定空間外,并控制該空間的溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電。凈化廠的產品特點具有美觀,剛性強,保溫性能好,施工方便。弧角,門,窗框等的一般用于生產特種氧化鋁可以是地面或地板環(huán)氧自流坪高耐磨塑料地板,防靜電要求,防靜電類型的選擇。鍍鋅板的熱風返回管,連接到一個良好的保溫效果純化PF阻燃發(fā)泡塑料板用不銹鋼框架HEPA,外觀整潔,穿孔片材與鋁涂料。
