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氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-真空法，真空法首要應(yīng)用于真空密封功能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車(chē)、環(huán)境模擬設(shè)備等。真空法檢測(cè)靈敏度高，能夠準(zhǔn)確定位，能完成大容器或雜亂結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏?？墒侵荒芡瓿梢粋€(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的實(shí)在走漏狀況?？墒沁@種檢漏體系雜亂，需求依據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室，在檢漏過(guò)程要求確保充氣管道接口無(wú)走漏，或者采取特別的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將一切充氣管道銜接接口放置在真空密封室外部。

選用真空法檢漏時(shí)，需求使用輔佐真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產(chǎn)品外外表施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)經(jīng)過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品走漏量丈量。依照施漏氣體辦法的不同，又能夠?qū)⒄婵辗ǚ譃檎婵諊姶捣ê驼婵蘸ふ址?。其間真空噴吹法選用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外外表噴吹氦氣，能夠完成漏孔的準(zhǔn)確定位；特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工供氣系統(tǒng)的選擇簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。 真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來(lái)，在罩內(nèi)充溢必定濃度的氦氣，能夠完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

特種氣體管道

氣體滲透性：

氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過(guò)材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因?yàn)榭諝庵醒鯕夂偷獨(dú)夥謮毫?大、氣體分子相對(duì)較小，管道材料對(duì)氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮?dú)獾臐B透 ， 一般對(duì)氧氣的滲透測(cè)試比較多。

特氣管道試壓

　　1、管道試壓前應(yīng)全1面檢查、核對(duì)已安裝的管子、管件、閥門(mén)、緊固件以及支架等，質(zhì)量應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求及技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。

　　2、管道試壓應(yīng)編制試驗(yàn)方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進(jìn)行試壓。一般對(duì)于同向大氣的無(wú)壓管線，如放空管、排液管等可不進(jìn)行試壓。

特種氣體：氦氣

氦氣具有化學(xué)惰性，常被用做半導(dǎo)體工業(yè)的保護(hù)氣和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的載體氣。氦氣可以隔絕氧氣，避免電焊工件、單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。目前，保護(hù)氣已成為氦氣的第二大應(yīng)用領(lǐng)域。在氣相色譜中，氦氣作為載體氣可運(yùn)送被測(cè)氣體且不與其發(fā)生反應(yīng)。

 氦氣分子1小，使其穿透能力強(qiáng)、密度1小，被用做管道檢漏，可解決單純依靠聲波檢測(cè)技術(shù)無(wú)法解決的問(wèn)題，對(duì)深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道，特別是低壓運(yùn)行的管道，有明顯的檢測(cè)效果。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

對(duì)于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒(méi)有三通。后管道還要有良好的接地。如果沒(méi)有管帽，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。