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羅茨泵的結構
在泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。臥式:兩個轉子的軸線呈水平安裝,兩個轉子軸線構成的平面成水平方向,這種結構的泵的進氣口在泵的上方,排氣口在泵的下方(也有與此相反的)。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。
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羅茨泵的工作原理
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。1958年美國真空協會定義:如果一個立方厘米內的氣體分子個數少于2。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內,再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去。當轉子繼續(xù)轉動時,氣體排出泵外。
羅茨泵轉子由0°轉到180°的抽氣過程。在0°位置時,下轉子從泵入口封入v0體積的氣體。羅茨泵機組MS370AD BM12A OMT5K(MSBM-370D12)。當轉到45°位置時,該腔與排氣口相通。由于排氣側壓強較高,引起一部分氣體返沖過來。當轉到90°位置時,下轉子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時,上轉子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉子繼續(xù)轉到135°時,上轉子封入的氣體與排氣口相通,重復上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。轉子主軸旋轉一周共排出四個v0體積的氣體。
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羅茨泵的運行規(guī)則
1.安裝后和起動前應作的準備:①應查清羅茨泵電機的轉向必須與給定的箭頭指示方向相同,不得反向;②檢查各處油杯的油面是否符合規(guī)定位置;③檢查各接頭、部件的密封性是否可靠;④接通各部冷卻水。
2.真空機組的運行:①先開前級泵,使羅茨泵或被抽系統的真空度達到規(guī)定值(以油封式機械泵作前級泵時,應抽到5Torr以下,以水環(huán)泵作前級泵時,應抽到60~80Torr以下);②開動羅茨真空泵。
3.機組的停車:①關閉進氣閥門;②停羅茨泵;③停前級泵;④前級泵放氣,以免真空油或水等在真空下返回羅茨泵;⑤停止借水。
4.裝有特殊部件的羅茨泵機組運行:由上可見,干式羅茨泵機組的操作是比較麻煩的,特別是羅茨泵本身,有時因操作不好會使反壓過大而損壞。
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羅茨泵的組合形式
(1)采用機械式自動調壓旁通閥的羅茨泵組合 將旁通閥裝在羅茨泵出口和入口之間的旁通管路上。
(2)采用液體聯軸器驅動的羅茨泵組合 采用液體聯軸器的羅茨泵,其泵可以在高壓差下工作,能防止過載現象的發(fā)生。用液體聯軸器驅動羅茨泵,能從正常大氣壓壓力下開始抽氣,所以能減少抽氣時間。
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